multi-chargedとは 意味・読み方・使い方

To provide a multi-beam deflector array means for a particle beam exposure apparatus using a beam of charged particles.例文帳に追加

荷電粒子ビームを使用する粒子ビーム露光装置用のマルチビーム偏向器アレイ手段を提供する。 - 特許庁

This multi-charged beam lens is constructed by layering a plurality of electrodes 201a-201c having a charged beam passage area 202 provided with a plurality of charged beam apertures 202a in the electron charged beam optical axis direction via fiber chips 212.例文帳に追加

複数の荷電ビーム用開口２０２ａが設けられた荷電ビーム通過領域２０２を有する複数枚の電極２０１ａ〜ｃが、ファイバーチップ２１２を介して荷電ビームの光軸方向に積層されて構成されたマルチ荷電ビームレンズが提供される。 - 特許庁

In the multi-pole constituted of a plurality of electrode poles 2 or magnetic poles 4 and controlling movements of charged particle, non-magnetic multi-electrode poles and multi-magnetic poles are arranged so as to be supported by an insulating body 1 on the same axis, and the multi-magnetic poles are positioned outside the multi-electrode poles.例文帳に追加

複数の電極子２又は磁極子４で構成され、荷電粒子の運動を制御する多極子において、同軸上に非磁性体の多電極子と多磁極子を絶縁体１で支持されるように配置し、前記多磁極子が多電極子の外側に位置するように構成される。 - 特許庁

The multi-charged particle writing system for writing on a wafer 9 using a plurality of charged particle beams comprises a Faraday cup 14 receiving a plurality of charged particle beams directly and measuring the total current thereof, and a multi-detector 15 having a function for receiving each charged particle beam directly and multiplying incident electrons, and measuring the relative value of the current of each charged particle beam.例文帳に追加

複数の荷電粒子線を用いてウエハ９を描画するマルチ荷電粒子線描画装置において、複数の荷電粒子線を直接入射させその総電流を計測するファラデーカップ１４と、各荷電粒子線を直接入射させ入射電子を増倍する機能を有し、各荷電粒子の電流の相対値を計測するマルチ検出器１５とを有する。 - 特許庁

MULTI-CHARGED PARTICLE BEAM OPTICAL LITHOGRAPHY SYSTEM AND METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING DEVICE EMPLOYING THE SYSTEM OR THE METHOD例文帳に追加

マルチ荷電粒子線露光装置および方法ならびに該装置または方法を用いたデバイス製造方法 - 特許庁

To provide a charged particle beam-irradiating apparatus capable of obtaining a clear image of the aperture of a multi-leaf collimator.例文帳に追加

マルチリーフコリメータの開口部の鮮明な撮像画像を得ることができる荷電粒子線照射装置を提供する。 - 特許庁

To obtain a low cost and high throughput, in the device manufacturing and inspection of device using a multi-column type charged particle beam.例文帳に追加

マルチコラム方式の荷電粒子ビームを用いたデバイス製造・検査において、低コストおよび高スループットを実現する。 - 特許庁

To provide a multi-charged particle writing system capable of measuring a current of each electron beam accurately and capable of exposing a desired pattern.例文帳に追加

各電子ビームの電流を正確に測定でき、所望パターンを露光できるマルチ荷電粒子線描画装置を提供する。 - 特許庁