pattern replacement methodとは 意味・読み方・使い方

To provide a determination method capable of accurately and rapidly determining a replacement timing of a focus ring, a control method, a determination device, a pattern formation system, and a program.例文帳に追加

フォーカスリングの交換時期を的確かつ迅速に判定することができる判定方法、制御方法、判定装置、パターン形成システム及びプログラムを提供する。 - 特許庁

A determination method for determining a replacement timing of a focus ring disposed around a substrate to improve in-plane uniformity of a pattern when the pattern is formed by etching a film on the substrate comprises a measurement step of measuring a shape or dimension of the pattern and a determination step of determining a replacement timing of the focus ring based on the shape or dimension of the measured pattern.例文帳に追加

基板上の膜をエッチングしてパターンを形成する際に、該パターンの面内均一性を高めるために該基板の周囲に配置されるフォーカスリングの交換時期を判定する判定方法において、前記パターンの形状又は寸法を測定する測定工程と、測定した前記パターンの形状又は寸法に基づいて、前記フォーカスリングの交換時期を判定する判定工程とを備える。 - 特許庁

The pattern formation by the stamping method as above allows forming the pattern with high accuracy, and since the porous flat plate 40 also absorbs the precursor 21, the number of replacement times of the mold 41 is decreased.例文帳に追加

このような押印法によるパターン形成によれば、高いパターン形成が可能であり、また多孔質な平板４０によっても前駆体２１を吸収するため、鋳型４１の交換回数を減らすことができる。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing an electrolytic capacitor that improves the productivity by decreasing the frequency of replacement of a projection pattern for joining electrode foils and tab terminals together and also improves the yield by maintaining peeling strength even when the frequency of replacement is decreased to avoid foil breaking.例文帳に追加

電極箔とタブ端子とを接合する凸型の交換頻度を減らすことによって生産性を向上させ、且つ交換頻度を少なくしても、剥離強度を維持して箔切れを生じさせないようにすることで歩留まりを向上させることができる電解コンデンサの製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a screen frame positioning structure of a screen printing machine capable of rapidly, easily and properly performing the alignment of a pattern with an object to be printed at the time of replacement of a screen frame, and a screen frame positioning method.例文帳に追加

版枠を差し替えた際に被印刷体に対するパターンの位置合わせを迅速容易に且つ適正に行うことのできるスクリーン印刷機の版枠位置決め構造及び版枠位置決め方法を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate cleaning apparatus, a method and a substrate processing apparatus which can slower progress of the contamination on a rotating roll cleaning member used for the cleaning a pattern forming surface and also can extend the replacement period.例文帳に追加

パターン形成面の洗浄に使用された回転ロール型洗浄部材の汚染の進みを遅くでき、交換時期を長くすることができる基板洗浄装置、基板洗浄方法及び基板処理装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a magnetic decorative plate in which a decorative plate is bonded to a metallic skeleton while adjusting delicate shifting at the manufacturing, and also an exchange of the decorative plate can easily be made when tired of the pattern or color of the decorative layer, or when required of replacement.例文帳に追加

化粧板を金属製躯体に接合するにあたり、施工する際の微妙なズレを修正しながら行い、また、化粧層の柄、色に飽きた場合や、取り替えを必要とするときは容易に交換することができるものとする。 - 特許庁