pressure bulkheadとは 意味・読み方・使い方

To provide an aligner and the like, in which improvement is made, so as to prevent precision deterioration of meters attached on a bulkhead by restraining deformation of the chamber bulkhead, when the pressure in a chamber is reduced and the atmospheric pressure is changed.例文帳に追加

チャンバー内減圧時や大気圧変動時におけるチャンバー隔壁の変形を抑制し、該隔壁に取り付けた計器の精度低下を防止できるよう改良を加えた露光装置等を提供する。 - 特許庁

A piezoelectric actuator unit 3 is equipped with: a lower actuator unit 3a fixed on the bulkhead 10a to close the pressure chamber 14; an intermediate layer 3c including a bulkhead 34c holding the lower actuator unit 3a together with the bulkhead 10a; and an upper actuator unit 3b fixed on the bulkhead 34c.例文帳に追加

圧電アクチュエータユニット３が、隔壁１０ａに固定されて圧力室１４を閉塞する下側アクチュエータユニット３ａと、隔壁１０ａと共に下側アクチュエータユニット３ａを挟み込む隔壁３４ｃを含む中間層３ｃと、隔壁３４ｃに固定された上側アクチュエータユニット３ｂとを有している。 - 特許庁

Between the piezoelectric element substrate 50 and the first upper substrate 70, a rib bulkhead 68 is arranged along the position corresponding to a pressure chamber bulkhead 82 of the passage substrate 80.例文帳に追加

圧電素子基板５０と第１上部基板７０との間には、流路基板８０の圧力室隔壁８２に対応する位置に沿ってリブ隔壁６８が配置されている。 - 特許庁

The cylindrical part 41 and the flange part 42 of the partition member 40 function as a pressure bulkhead.例文帳に追加

区画部材４０の筒状部４１およびフランジ部４２は、いずれも圧力隔壁として機能する。 - 特許庁

The negative pressure check valve 25 for leading negative pressure in the surge tank 16 into the vacuum chamber 17 is provided in substantially central part in the direction of width of the bulkhead 20.例文帳に追加

隔壁２０の幅方向略中央部にサージタンク１６の負圧をバキュームチャンバ１７内に導く負圧チェックバルブ２５を設ける。 - 特許庁

The first pressure difference measuring part 113 measures the pressure difference between each space domain provided on both sides of the first bulkhead member 111, and the second pressure difference measuring part 114 measures the pressure difference between each space domain provided on both sides of the second bulkhead member 112.例文帳に追加

第１圧力差計測部１１３が第１隔壁部材１１１の両側に備えられた各空間領域の圧力差を計測し、第２圧力差計測部１１４が第２隔壁部材１１２の両側に備えられた各空間領域の圧力差を計測する。 - 特許庁

Moreover, since the high pressure air generator 3 makes low pressure water flow out from the water chambers 6B, 7B by moving piston bulkhead materials 8, 9 by pressure of low pressure air to be compressed and pressure of low pressure air to be compressed is used as energy for moving the piston bulkhead materials 8, 9, energy consumption can be reduced.例文帳に追加

さらに高圧空気発生器３は、加圧対象の低圧空気の圧力によってピストン用隔壁材８，９を移動させて低圧水を水用チャンバ６Ｂ，７Ｂから流出させるので、加圧対象の低圧空気の圧力をピストン用隔壁材８，９の移動用エネルギーとして使う分だけエネルギー消費量の低減が図れる。 - 特許庁

Dynamic pressure grooves 21, 22 are formed on a bulkhead 6 opposing to the impeller 10 and the inner wall of the blood chamber 7.例文帳に追加

インペラ１０に対向する隔壁６および血液室７の内壁にそれぞれ動圧溝２１，２２を形成する。 - 特許庁