sputtered neutralとは 意味・読み方・使い方

An electric current flowing through the bias source 26 is limited in such a manner that the stuck sputtered particles are not immediately made electrically neutral.例文帳に追加

バイアス電源２６に流れる電流は、付着したスパッタ粒子が直ちに電気的に中性とならないように制限される。 - 特許庁

Among sputtering particles to pass through the particle passage 130, only neutral particles can go straight on, thus a sputtered film is formed on the surface of the organic thin film in an object for film formation.例文帳に追加

粒子通路１３０を通過しようとするスパッタリング粒子の中で、中性粒子だけが直進でき、それにより、成膜対象物の有機薄膜表面にスパッタ膜が形成される。 - 特許庁

A steel material B compound species specification method uses the resonance multiphoton ionization sputter neutral particle mass analysis method of ionizing neutral particles 5, sputtered with an active primary ion beam 2, with laser light and taking mass analysis of an ion species taken in a mass analyzer 7 through a lead electrode 6 for the steel material containing the B compound.例文帳に追加

Ｂ化合物を含有する鋼材に対して、不活性な一次イオンビーム２によってスパッタリングされた中性粒子５をレーザー光でイオン化し、引出電極６を介して質量分析計７に取り込まれたイオン種の質量分析をするスパッタ中性粒子質量分析法を利用する。 - 特許庁

To provide a sputtering system where, by using sputtered neutral atoms at respective tilted multicathodes, the satisfactory coverage of a side wall and a bottom part can be formed in a patterned hole or groove on the surface of a wafer.例文帳に追加

傾斜したマルチカソードの各々でスパッタされた中性原子を用いることでウェハー表面のパターン化された孔または溝でより良い側壁および底部のカバレッジを形成できるスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁