substrate regulationとは 意味・読み方・使い方

TEMPERATURE REGULATOR, TEMPERATURE REGULATION SYSTEM, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 - 特許庁

To simply recover a regulation function of a regulation body with a short time and labor in a substrate transfer apparatus which makes the regulation body position and hold a substrate sucked and held by a Bernoulli chuck at a predetermined position.例文帳に追加

ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。 - 特許庁

A temperature regulation plate driving mechanism 80 lowers a temperature regulation member 65 to be brought into contact with a back side of the substrate W.例文帳に追加

温調板駆動機構８０は、温度調節部材６５を下降させて基板Ｗの裏面に接触させる。 - 特許庁

To provide a substrate housing container including supporting parts in the container body, each of which supports a regulation plate for letting a thin substrate avoid deflection, also the substrate housing container preventing the regulation plate from rotation, decreasing friction between the regulation plate and the supporting parts, and making a substrate easy to be taken out.例文帳に追加

容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。 - 特許庁

REGULATION METHOD FOR IMAGING FOCUSING OPTICAL SYSTEM, REGULATION METHOD FOR MARK POSITION DETECTOR, MARK POSITION DETECTOR, SUBSTRATE FOR REGULATION, AND EVALUATION METHOD FOR IMAGING FOCUSING OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

結像光学系の調整方法、マーク位置検出装置の調整方法、マーク位置検出装置、調整用基板、および結像光学系の評価方法 - 特許庁

The regulation electrode 4 for the sub-substrate A is laser-trimmed while made to contact the probe 11.例文帳に追加

プローブ１１を接触させながら、子基板Ａの調整用電極４をレーザートリミングする。 - 特許庁

Then the regulation pin is arranged on the same circle according to the diameter of the substrate W to be applied.例文帳に追加

そこで、規制ピンは適用する基板Ｗの径に応じて同じ円上に配置される。 - 特許庁