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Weblio 辞書 > 英和辞典・和英辞典 > substrate regulationに関連した英語例文

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substrate regulationの部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 88



例文

TEMPERATURE REGULATOR, TEMPERATURE REGULATION SYSTEM, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS例文帳に追加

温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 - 特許庁

To simply recover a regulation function of a regulation body with a short time and labor in a substrate transfer apparatus which makes the regulation body position and hold a substrate sucked and held by a Bernoulli chuck at a predetermined position.例文帳に追加

ベルヌーイチャックで吸引保持した基板を、規制体で所定姿勢に位置保持する基板移載装置において、規制体の規制機能の回復をより少ない手間で簡便に行うことができるようにする。 - 特許庁

A temperature regulation plate driving mechanism 80 lowers a temperature regulation member 65 to be brought into contact with a back side of the substrate W.例文帳に追加

温調板駆動機構80は、温度調節部材65を下降させて基板Wの裏面に接触させる。 - 特許庁

To provide a substrate housing container including supporting parts in the container body, each of which supports a regulation plate for letting a thin substrate avoid deflection, also the substrate housing container preventing the regulation plate from rotation, decreasing friction between the regulation plate and the supporting parts, and making a substrate easy to be taken out.例文帳に追加

容器本体の各支持部に規制板を支持させ、この規制板によって薄肉厚基板の撓みを回避させるものであり、該規制板の回転を防止できるとともに、該規制板と支持部との擦れを低減させ、また、基板の取り出しも容易にした基板収納容器を提供する。 - 特許庁

例文

REGULATION METHOD FOR IMAGING FOCUSING OPTICAL SYSTEM, REGULATION METHOD FOR MARK POSITION DETECTOR, MARK POSITION DETECTOR, SUBSTRATE FOR REGULATION, AND EVALUATION METHOD FOR IMAGING FOCUSING OPTICAL SYSTEM例文帳に追加

結像光学系の調整方法、マーク位置検出装置の調整方法、マーク位置検出装置、調整用基板、および結像光学系の評価方法 - 特許庁


例文

The regulation electrode 4 for the sub-substrate A is laser-trimmed while made to contact the probe 11.例文帳に追加

プローブ11を接触させながら、子基板Aの調整用電極4をレーザートリミングする。 - 特許庁

Then the regulation pin is arranged on the same circle according to the diameter of the substrate W to be applied.例文帳に追加

そこで、規制ピンは適用する基板Wの径に応じて同じ円上に配置される。 - 特許庁

A flow regulation fixture 12 is arranged between a plasma generation device 16 and a film deposition part of a substrate 10.例文帳に追加

プラズマ発生装置16と、基材10の成膜部位との間に、整流用治具12を配置する。 - 特許庁

To perform temperature regulation at high speed and with accuracy to a substrate, such as a wafer which is being carried in.例文帳に追加

搬入されてくるウェハ等の基板に対して、高速且つ正確に温度調整を行う。 - 特許庁

例文

The movement of the wafer W on the substrate holding plane 11a is regulated by regulation pins 25.例文帳に追加

基板保持面11a上におけるウエハWの移動は、規制ピン25によって規制される。 - 特許庁

例文

The IC component P is heated at the time of mounting and positional regulation of a substrate B is released.例文帳に追加

IC部品Pの実装時にIC部品Pを加熱するとともに、基板Bの位置規制を解除する。 - 特許庁

To provide a substrate support with an electrostatic chuck wherein the chuck and a base are cooperated to attain regulation of a temperature profile of a substrate in a chamber.例文帳に追加

チャンバ内で基板の温度プロファイルの調整を可能にするようにチャックとベースが協働する、静電チャックをもつ基板支持体の提供。 - 特許庁

To rapidly heat a substrate in a film deposition system by simplifying the positional regulation of a laser oscillator and a substrate holder.例文帳に追加

成膜装置において、レーザ発振器や基板ホルダの位置調整を簡単にして基板を急激に加熱することを可能にする。 - 特許庁

The rotation transmitting member 68 faces the peripheral part of the upper surface of the substrate W and the position regulation member faces the peripheral end face of the substrate W.例文帳に追加

回転伝達部材68は、基板Wの上面の周縁部に対向し、位置規制部材は基板Wの周端面に対向する。 - 特許庁

An alignment regulation film 2 is formed on a non-metallic substrate 1 which undergoes texturing on a surface and the surface of the alignment regulation film 2 is subjected to oxidation or nitridation, and a non-magnetic undercoat film 3 and a magnetic film 4 are formed thereon.例文帳に追加

表面にテクスチャ加工を施した非金属基板1上に配向調整膜2を形成し、この配向調整膜2の表面を酸化処理または窒化処理し、その上に非磁性下地膜3および磁性膜4を形成する。 - 特許庁

The regulation part 250a supports the projection 241a and the regulation part 250b supports the projection 241b, so that the movable part 220 is supported to be oscillated around the central axis 240 at a remote position above the substrate.例文帳に追加

規制部250aで突出部241aが支持されており、規制部250bで突出部241bが支持されていることで、可動部220が基板の上方に離反した位置で中心軸240の周りに揺動可能に支持されている。 - 特許庁

A regulation plate is placed on a pair of supporting plates at a same level in supporting parts, and a substrate is placed on other supporting plates which is one upper stage of the supporting plates having the regulation plate thereon.例文帳に追加

一対の支持部の高さが同じ支持板によって規制板を載置させるともに、規制板を載置する支持板よりも一段上にある他の支持板に基板を載置させる。 - 特許庁

In a substrate temperature regulator which performs temperature regulation of a substrate, so that it reaches a certain final target control temperature by bringing the temperature of a substrate close to the control target temperature, the control target temperature is changed variably, taking the temperature of the substrate into consideration.例文帳に追加

基板を制御目標温度に近づけることにより、ある最終目標管理温度になるように基板の温度調整を行う基板温調装置において、基板の温度を考慮して制御目標温度を可変的に変更する。 - 特許庁

This optical equipment 2 is provided with a substrate 12, a movable mirror 42, a movable electrode layer 24, and regulation parts 30a, 30b.例文帳に追加

光学装置2は、基板12と可動ミラー42と可動電極層24と規制部30a,30bを備えている。 - 特許庁

The substrate W on which the film is formed is inverted by turning the chuck 60 while the temperature regulation member 65 is retracted upward.例文帳に追加

成膜が終了した基板Wは、温度調節部材65を上方に待避させ、チャック60を回転させることにより、反転する。 - 特許庁

A regulating axis part which receives the periphery of substrate to regulate skidding is provided to the middle part in vertical direction of the regulation pin including the introducing axis part.例文帳に追加

導入軸部を含む規制ピンの上下方向中途部に、基板の周縁を受け止めて滑り移動を規制する規制軸部を設ける。 - 特許庁

Alternatively, the method includes a regulation step of lowering the substrate temperature, after the first film deposition step and the second film deposition step has been carried out, after the adjustment step.例文帳に追加

また、第1の成膜工程の後で基板温度を下げる調整工程を含み、この調整工程の後、第2の成膜工程を行う。 - 特許庁

Some extent of electric conductivity is given to a regulation member 108 for regulating the moving range of a plate-shaped member 107 (mirror member) in the direction of a substrate face.例文帳に追加

板状部材107(ミラー部材)の基板面方向の移動範囲を規制するための規制部材108に、ある程度の導電性を持たせる。 - 特許庁

By the positional regulation of an engagement part 65, positional dislocation d between the stamper mold 60 and the substrate 50 accompanied by contraction during cooling is suppressed.例文帳に追加

この嵌合部65の位置規制により、冷却時の収縮に伴うスタンパ金型60と基板50との位置ずれdを抑制する。 - 特許庁

LOAD LOCK WITH TEMPERATURE REGULATION, LITHOGRAPHY SYSTEM EQUIPPED WITH LOAD LOCK, AND METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE USING LOAD LOCK例文帳に追加

温度調節付きロード・ロック、ロード・ロックを備えたリソグラフィ装置、およびロード・ロックを用いて基板を製造する方法 - 特許庁

To improve a lithographic apparatus, and particularly to achieve a correct and uniform heat regulation of an object such as a substrate or a patterning structure.例文帳に追加

リソグラフィ装置を改良すること、特に、オブジェクト、例えば基板またはパターニング構造の正確で均一な熱調節を提供すること。 - 特許庁

Cost required for regulation work is also reduced since the one testing substrate 91 is usable repeatedly.例文帳に追加

また、1枚の試験用基板91を繰り返し使用することができるため、調整作業に掛かるコストを低減させることができる。 - 特許庁

To provide a roof substrate panel and an execution method of a roof substrate using the panel which can be easily executed and can easily cope with such a case where the projecting length of an eaves edge varies because of the slant line regulation or the site boundary regulation or the like.例文帳に追加

屋根下地の施工が容易にでき、しかも斜線制限や隣地境界制限等を受けて軒先の突出長さが変わる場合も容易に対応することができる屋根下地パネルとそれを用いた屋根下地の施工方法を提供する。 - 特許庁

To provide a substrate for cell adhesion and a method for cell adhesion using the substrate, a substrate for cell morphology regulation and a method for regulating cell morphology using the substrate, and a substrate for cell culture and a method for culturing cells using the substrate.例文帳に追加

本発明の課題は、細胞接着用基質及びそれを用いて細胞を接着させる方法、細胞形態調節用基質及びそれを用いて細胞の形態を調節する方法、並びに細胞培養用基質及びそれを用いて細胞を培養する方法の提供である。 - 特許庁

The substrate for cell adhesion, the substrate for cell morphology regulation and the substrate for cell culture each comprises an arylsulfatase protein.例文帳に追加

本発明の上記課題は、アリールスルファターゼタンパク質を含む、細胞接着用基質、細胞形態調節用基質及び細胞培養用基質により解決される。 - 特許庁

A lithography apparatus comprises the substrate table WT which is formed for holding a substrate W and retains the regulating fluid and a regulation system 100 for regulating the substrate table.例文帳に追加

リソグラフィ装置は、基板Wを保持するように構成された基板テーブルWTを有しており、基板テーブルは、調整流体を保持し、かつ、基板テーブルを調整するように構成された調整システム100を備えている。 - 特許庁

The spread plate comprises a transparent substrate 20, a high base layer 21 for transmittance regulation provided on one face of the transparent substrate 20, and a spread bead layer 22 for luminance improvement provided on the other face of the transparent substrate 20.例文帳に追加

透明基板20と、前記透明基板20の一方の面に設けられた透過率調整用の高ヘーズ層21と、前記透明基板の他方の面に設けられた輝度向上用の拡散ビーズ層22と、を備えて構成されている拡散板。 - 特許庁

The film deposition chamber is coupled with the pressure regulation chamber C2, and a thin film is deposited on a substrate S5 arranged in the film deposition space based on the vapor of the evaporation substance while the pressure regulation space is communicated with the evaporation space and the film deposition space.例文帳に追加

成膜室が圧力調整室C2に結合され、圧力調整空間が蒸発空間と成膜空間とに連通した状態において、蒸発物質の蒸気に基づき、成膜空間に配置された基板S5上に薄膜を形成する。 - 特許庁

To provide a method of regulating an image focusing optical system capable of reducing surely an error TIS caused by a device by enhancing regulation sensitivity, a method of regulating a mark position detector, the mark position detector, a substrate for the regulation, and a method of evaluating the image focusing optical system.例文帳に追加

調整感度の向上により装置起因の誤差TISを確実に低減できる結像光学系の調整方法、マーク位置検出装置の調整方法、マーク位置検出装置、調整用基板、および結像光学系の評価方法を提供する。 - 特許庁

A second substrate 20 comprises a third region A3 having a regulation force that aligns the liquid crystal molecules 30a in a third direction R3 intersecting the first direction R1 and a fourth region A4 having a regulation force that aligns the liquid crystal molecules 30a in a fourth direction R4 opposite to the third direction R3.例文帳に追加

第2基板20は、第1方向R1と交差する第3方向R3に配向させる規制力を有する第3領域A3と、第3方向R3と反対の第4方向R4に配向させる規制力を有する第4領域A4とを有する。 - 特許庁

A first substrate 10 comprises two first regions A1 having a regulation force that aligns liquid crystal molecules 30a in a first direction R1 and a second region A2 which has a regulation force of aligning the liquid crystal molecules 30a in a second direction opposite to the first direction and is disposed between the two first regions A1.例文帳に追加

第1基板10は、液晶分子30aを第1方向R1に配向させる規制力を有する2つの第1領域A1と、第1方向と反対の第2方向に配向させる規制力を有し、2つの第1領域A1の間に設けられた第2領域A2とを有する。 - 特許庁

A liquid crystal layer consisting of a photo-curing chiral and nematic liquid crystal or the like having cholesteric regularity is film-formed on an alignment substrate 13, and a liquid crystal molecule in the liquid crystal layer is aligned by alignment regulation force of the alignment substrate 13.例文帳に追加

配向基板13上に、コレステリック規則性を有する光硬化型のカイラル・ネマチック液晶等からなる液晶層を成膜し、配向基板13の配向規制力により液晶層中の液晶分子を配向させる。 - 特許庁

A regulation roller means 304 includes: a roller erection body 120 which is erected on the upper face of the lower-part-substrate-shielding plate 108 with a height approximately reaching the vicinity of the upper part of the thin sheet substrate W; and a separation-preventing member 122.例文帳に追加

規制ローラ手段304は、ほぼ薄板基板Wの上部付近まで達する高さで下部基板遮蔽板108の上面に立設されたローラ立設体120と、外れ防止部材122とで構成されている。 - 特許庁

A rotation transmitting member 68A for transmitting the rotation of the atmosphere shielding part 60 to the substrate W and a position regulation member for regulating the pop of the substrate W in the horizontal direction are projected from the shielding surface 61 of the shielding part 60.例文帳に追加

雰囲気遮蔽部60の遮蔽面61からは、この雰囲気遮蔽部60の回転を基板Wに伝達する回転伝達部材68Aと、基板Wの水平方向への飛び出しを規制する位置規制部材とが突出している。 - 特許庁

To provide a laser light source device in which fastening torque is ensured when a holder is fixed to a supporting substrate and a temperature regulation element is not damaged.例文帳に追加

フォルダを支持基体に取り付ける場合に、締め付けトルクを確保すると共に温調素子に対して損傷を与えることがないレーザー光源装置を提供する。 - 特許庁

The gas bearings 12 and 14 also function as coupling devices which stably maintain a small gap 22 from the substrate W through gas flow regulation by a regulator 26.例文帳に追加

ガスベアリング12、14は、調整器26によるガス流制御によって基板Wとの隙間22を安定して小さく維持する結合装置としても作用する。 - 特許庁

To provide a frequency regulation method for a surface wave device in which an IDT electrode is formed on a substrate and a piezoelectric membrane is arranged on the top and/or the bottom surface of the IDT electrode.例文帳に追加

基板上にIDT電極が形成されており、IDT電極の上面及び/または下面に圧電膜が配置されている表面波装置の周波数調整方法を提供する。 - 特許庁

The cement mortar composition is used for either or both of treatment for the joint of a cement board pasted on a body, and for substrate regulation, and comprises cement, aggregate and calcium formate.例文帳に追加

本発明のセメントモルタル組成物は、躯体に張り付けられたセメントボードの目地の処理および下地調整の一方または両方に用いられ、セメントと骨材と蟻酸カルシウムとを含有する。 - 特許庁

The irradiation device 11 includes an irradiation part 20 for irradiating the electromagnetic wave and a regulation part 21 having a through-hole 17 formed on a substrate 13 to regulate an irradiation direction of the irradiated electromagnetic wave.例文帳に追加

照射装置11に、電磁波を照射する照射部20と、基板13に形成された貫通孔17を有する規制部21を備え、照射された前記電磁波の照射方向を規制する。 - 特許庁

To provide a semiconductor substrate processing apparatus which achieve an efficient working regulation without the occurrence of any deadlock in a single wafer processor for processing substrates in parallel.例文帳に追加

並列的に基板の処理を行う枚葉装置において、デッドロックを発生させることなく、効率的な運用規制を実現する半導体基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The hand part of parallel mechanism is provided with a Bernoulli chuck which sucks and holds a substrate in non-contact state, and a plurality of regulation pins arranged in such manner as surround the Bernoulli chuck.例文帳に追加

パラレルメカニズムのハンド部に、基板を非接触状態で吸引保持するベルヌーイチャックと、ベルヌーイチャックの周囲を囲む状態で配置される複数個の規制ピンとを設ける。 - 特許庁

To achieve reduction of a circuit area on a substrate, to enable regulation of a phase correction amount so as to perform appropriate phase correction, and further to reduce power consumption in a phase matching circuit.例文帳に追加

位相整合回路において、基板上の回路面積の縮小化を図り、適切な位相補正を行うための位相補正量の調整を可能にし、さらに低消費電力化を図る。 - 特許庁

To provide a temperature regulator that can shorten the temperature raising time and temperature lowering time by means of thermal treatment equipment, and to provide a temperature regulation system and a substrate processing apparatus equipped with the system.例文帳に追加

熱処理装置による昇温時間および降温時間を短縮することができる温度調整器、温度調整システムおよびそれを備えた基板処理装置を提供する。 - 特許庁

The female housing 30 is provided with a regulation part 36 locked to a rear face Kb opposite to a surface Ka to which the male housing 10 is attached in the substrate K.例文帳に追加

雌ハウジング30には、基板Kにおける雄ハウジング10が取り付けられた表面Kaとは反対側の裏面Kbに対して係止可能な規制部36が設けられている。 - 特許庁

例文

The width of the end face of the track width regulation part 10A arranged on the medium facing surface is reduced with its approach to a first edge A1 close to a substrate 1.例文帳に追加

媒体対向面に配置されたトラック幅規定部10Aの端面の幅は、基板1に近い第1の辺A1に近づくに従って小さくなっている。 - 特許庁

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