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Dry etchingの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2390件
DRY ETCHING METHOD, MICROMACHINING METHOD AND MASK FOR DRY ETCHING例文帳に追加
ドライエッチング方法、微細加工方法及びドライエッチング用マスク - 特許庁
DRY ETCHING METHOD AND DRY ETCHING APPARATUS USING THE SAME例文帳に追加
ドライエッチング方法及びこの方法に用いるドライエッチング装置 - 特許庁
In this method of dry etching, CH2F2 is used as an etching gas at the time of dry etching.例文帳に追加
ドライエッチング時に、エッチングガスとしてCH_2F_2を用いることを特徴としている。 - 特許庁
DRY ETCHING EXHAUST GAS TREATMENT APPARATUS例文帳に追加
ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD OF SEMICONDUCTOR例文帳に追加
半導体のドライエッチング方法 - 特許庁
DRY ETCHING DEVICE AND DRY CLEANING METHOD THEREOF例文帳に追加
ドライエッチング装置及びそのドライクリーニング方法 - 特許庁
METHOD OF DRY ETCHING AND DRY ETCHING APPARATUS USED THEREFOR例文帳に追加
ドライエッチング方法及びこの方法に使用するドライエッチング装置 - 特許庁
PLASMA DRY ETCHING METHOD AND PLASMA DRY ETCHING APPARATUS USING SAME例文帳に追加
プラズマドライエッチング方法及びこれを用いたプラズマドライエッチング装置 - 特許庁
DRY ETCHING DEVICE, DRY ETCHING METHOD AND MANUFACTURING METHOD OF PHOTOMASK例文帳に追加
ドライエッチング装置、ドライエッチング方法及びフォトマスク製造方法 - 特許庁
The etching step is performed by dry etching in which an etching gas is used.例文帳に追加
エッチング工程は、エッチングガスによるドライエッチングを用いる。 - 特許庁
To provide a dry etching method for etching an InP substrate by means of dry etching at a low temperature and a high speed.例文帳に追加
低温でInP基板をドライエッチング法により高速でエッチングする。 - 特許庁
DRY ETCHING DEVICE AND DRY CLEANING METHOD THEREFOR例文帳に追加
ドライエッチング装置およびそのドライクリーニング方法 - 特許庁
SYSTEM FOR PROCESSING EXHAUST GAS OF DRY ETCHING例文帳に追加
ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁
METHOD FOR DRY-ETCHING MAGNETIC MATERIAL例文帳に追加
磁性材料のドライエッチング方法 - 特許庁
CLEANING METHOD OF DRY ETCHING APPARATUS例文帳に追加
ドライエッチング装置のクリーニング方法 - 特許庁
METHOD OF DRY-ETCHING SILICON NITRIDE FILM例文帳に追加
窒化珪素膜のドライエッチング方法 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD OF SILICON NITRIDE FILM例文帳に追加
窒化シリコン膜のドライエッチング方法 - 特許庁
DRY ETCHING CHARACTERISTIC EVALUATING APPARATUS AND DRY ETCHING APPARATUS EQUIPPED WITH THE SAME例文帳に追加
ドライエッチング特性評価装置およびこれを備えたドライエッチング装置 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD, MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND DRY ETCHING DEVICE例文帳に追加
ドライエッチング方法、半導体装置の製造方法及びドライエッチング装置 - 特許庁
DRY ETCHING METHOD OF ZINC OXIDE FILM例文帳に追加
酸化亜鉛膜のドライエッチング方法 - 特許庁
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