「etching method」に関連した英語例文の一覧と使い方(138ページ目) - Weblio英語例文検索

This pattern forming method includes (i) a step of forming a resist pattern on a support body using resist composition, (ii) a step of forming coating for pattern reversal by applying the material for forming a reverse pattern to the support body on which the resist pattern is formed, and (iii) a step of forming the reverse pattern by removing the resist pattern by etching.例文帳に追加

支持体上に、レジスト組成物を用いてレジストパターンを形成する工程（ｉ）と、前記レジストパターンが形成された前記支持体上に、反転パターン形成用材料を塗布してパターン反転用被膜を形成する工程（ｉｉ）と、前記レジストパターンをエッチングにより除去し、反転パターンを形成する工程（ｉｉｉ）と、を備えるパターン形成方法であって、前記反転パターン形成用材料が、下記式（ｘ０−１）で表される構成単位を有し、シリコン含有量が１５質量％超のシロキサンポリマーを含有することを特徴とする。 - 特許庁

The method also includes a step of exposing the resist film at an upward angle of 50°-70° from the mask and developing the exposed resist film, a step of etching the exposed part of the metallic film after development, and a step of removing the resist film left on the metallic film.例文帳に追加

圧電素子の導電膜が均一の膜厚であり、且つ導電膜の構造中に接合部分がなく一体形成である圧電素子上の導電膜であり、その製造方法は、圧電素子全面に金属膜を均一な膜厚で形成する工程と、この金属膜上にレジスト膜を均一な膜厚で形成する工程と、レジスト膜の主面上に、マスクを配置する工程と、マスクに対し上方５０°〜７０°の角度で露光し現像する工程と、現像後に露出した部分の金属膜をエッチングする工程と、残った金属膜上のレジスト膜を除去する工程からなる。 - 特許庁