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focus testingの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 9件
When |reference value Z0-focus value Z1 in a shot area to be exposed| >1.0 μm, the abnormal focus testing apparatus 3 determines that the focus is abnormal.例文帳に追加
｜基準値Ｚ_0−露光するショット領域のフォーカス値Ｚ_1｜＞１．０μｍのとき、フォーカス異常と判断する。 - 特許庁
METHOD OF PERFORMING TILTED FOCUS TESTING, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURED ACCORDINGLY例文帳に追加
傾斜焦点試験を行う方法及び露光装置、並びにそれに応じて製造されたデバイス - 特許庁
An abnormal focus testing apparatus 3 judges whether a focus value in a shot area is normal or abnormal, before a reduction projection aligner 100 carries out reduction projection exposure.例文帳に追加
フォーカス異常検査装置３は、縮小投影露光装置１００の縮小投影露光の前に、ショット領域のフォーカス値が異常かを判断している。 - 特許庁
The focus is on testing the analog portion of the mixed-signal device, as the digital portion is assumed handled in the usual way. 例文帳に追加
このミクストシグナル・デバイスのアナログ部分の試験に焦点が置かれる.一方, ディジタル部分は通常の方法で扱われるものと前提している. - コンピューター用語辞典
To provide an apparatus for testing abnormal focus in reduction projection exposure without having to reduce the throughput, even if foreign matters attach to a semiconductor wafer.例文帳に追加
スループットを低下させることなく、かつ、異物が半導体ウェハに付着している場合であっても、縮小投影露光におけるフォーカス異常を検査することができる装置を提供する。 - 特許庁
An lens driving apparatus 42 moves the objective lens 11 to the direction of the light axis by the amount in accordance with the distance information to respective measuring points of the object so that the testing object is in focus.例文帳に追加
レンズ駆動装置４２は、被検物の各測定点までの距離情報に応じた量だけ、対物レンズ１１を光軸方向に移動させて、被検物に焦点が合うようにする。 - 特許庁
A zoom lens driving apparatus 51 expands or reduces the size of the image of the object by moving a zoom lens ZL, and a focusing lens driving apparatus 52 brings the testing object in focus by moving the focusing lens FoL.例文帳に追加
ズーム用レンズ駆動装置５１は、ズーム用レンズＺＬの移動によって被検物の像の大きさを拡大又は縮小し、合焦レンズ駆動装置５２は、合焦レンズＦoＬの移動によって被検物に焦点を合わせる。 - 特許庁
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