インプロセス計測の英語

これら各変位センサ５０は、ワークＷが加工中であっても、その計測位置における厚さをインプロセス計測することができる。例文帳に追加

The displacement sensors 50 can inprocess measure the thickness at the measuring position during machining of the work W. - 特許庁

高出力レーザビームの特性をインプロセスで計測する軽便な装置、特に振動するパルスレーザの加工位置における特性を計測するレーザビーム計測装置およびレーザビーム制御装置を提供する。例文帳に追加

To provide a handy device for measuring a characteristic of a high output laser beam in an in-process, particularly, a laser beam measuring device for measuring a characteristic of a vibrating pulse laser in a work position and a laser beam control device. - 特許庁

絶縁膜を有する基板を窒化するプラズマ窒化処理装置において、プラズマ窒化処理を開始する前にウェハ温度をインプロセスで計測し、該ウェハ温度の計測値をＣＰＵにフィードバックしてプラズマ窒化時間またはプロセス圧力を制御することにより、ウェハ間の窒化量の均一性を向上することができる。例文帳に追加

In the plasma nitriding processing apparatus that nitrides a substrate having an insulating film, the wafer temperature is in-process monitored before starting the plasma nitiding processing, and the plasma nitriding time or process pressure is controlled by feeding the monitored value of the wafer temperature back to a CPU to enhance the uniformity of the nitridation quantities among the wafers. - 特許庁