インプロセス計測の英語

これら各変位センサ５０は、ワークＷが加工中であっても、その計測位置における厚さをインプロセス計測することができる。例文帳に追加

The displacement sensors 50 can inprocess measure the thickness at the measuring position during machining of the work W. - 特許庁

例えば、インプロセスゲージ３５により計測されたマスタウェハＷ２の厚さをその環境下での値ゼロの基準値として扱う。例文帳に追加

For example, the thickness of the master wafer W2 is employed as a reference value of zero under the circumstance. - 特許庁

高出力レーザビームの特性をインプロセスで計測する軽便な装置、特に振動するパルスレーザの加工位置における特性を計測するレーザビーム計測装置およびレーザビーム制御装置を提供する。例文帳に追加

To provide a handy device for measuring a characteristic of a high output laser beam in an in-process, particularly, a laser beam measuring device for measuring a characteristic of a vibrating pulse laser in a work position and a laser beam control device. - 特許庁

板ばねの調整やフィンガー長の調整を行うことなく、インプロセスゲージのフィンガー部の共振を抑えることができ、これにより、正確な研削面の寸法が計測できる研削装置を提供する。例文帳に追加

To provide a grinder capable of suppressing the resonance of a finger part of an in-process gauge, without having to adjust a plate spring or the length of a finger, to thereby accurately measure the dimensions of a grinding surface. - 特許庁

絶縁膜を有する基板を窒化するプラズマ窒化処理装置において、プラズマ窒化処理を開始する前にウェハ温度をインプロセスで計測し、該ウェハ温度の計測値をＣＰＵにフィードバックしてプラズマ窒化時間またはプロセス圧力を制御することにより、ウェハ間の窒化量の均一性を向上することができる。例文帳に追加

In the plasma nitriding processing apparatus that nitrides a substrate having an insulating film, the wafer temperature is in-process monitored before starting the plasma nitiding processing, and the plasma nitriding time or process pressure is controlled by feeding the monitored value of the wafer temperature back to a CPU to enhance the uniformity of the nitridation quantities among the wafers. - 特許庁

回転するワークの研削部分に進退自在なワークレストを当接させて該ワークを支持し、前記ワークに対して回転砥石を所定の送り速度で送りながら切り込むと共に、そのワークの研削部分にインプロセスゲージアームを接触させて当該研削部分の直径を計測しながら該ワークを所定の直径となるように研削する円筒研削加工方法であって、回転砥石による前記ワークの研削中に生じた欠損部又は突起部を検出したときに、前記ワークレストを前記ワークから退避させる。例文帳に追加

In this cylindrical grinding method, the workpiece is supported by a retractable work rest abutting on a ground part of the rotating workpiece, and while being fed at predetermined feed speed, a rotary grinding wheel cuts in the workpiece to grind the workpiece to have a predetermined diameter while measuring the diameter of the ground part by bringing an in-process gage arm into contact with the ground part of the workpiece. - 特許庁