ファラディの英語

電子ビーム計測用ファラディカップ（２）において、タンタルもしくはタンタル以上の原子番号の大きな重金属材料を用い、かつアスペクト比の高いファラディカップ構造をとることにより微細でも高加速電子ビーム（１）に対してもビーム漏えいの少ない電子ビーム計測が可能となる。例文帳に追加

In a Faraday cup 2 for measuring an electron beam, tantalum or a heavy metal material having an atomic number larger than that of tantalum is used, and a Faraday cup structure having a high aspect ratio is composed, so that electron beam measurement capable of preventing large beam leakage even for a fine and highly accelerated electron beam 1 can be realized. - 特許庁

ファラディの電磁誘導の法則によって流路に電圧が誘起されてこの軽油に電流が流れ、この電流が含有硫黄酸化物やリン酸化物を電気分解する。例文帳に追加

By the Faraday's law of electromagnetic induction a voltage is induced in the passage and an electric current flows in this gas oil, which exerts elecrolysis on the contained sulfur oxides and phosphorus oxides. - 特許庁

メンブレン５１の微小開口５３を透過した電子ビームの電流量をファラディカップ５５で測定し、透過電流量の低下の程度に応じてマスク１０へのコンタミネーション付着の程度を判定する。例文帳に追加

The amount of current of the electronic beams penetrated through the fine perforations 53 of the membrane 51 is measured by the Faraday cup 55 to decide the degree of adhesion of contamination to the mask 10, in accordance with the degree of deterioration of the amount of penetrating current. - 特許庁

本発明の方法においては、電気二重層キャパシタの自己放電中の電圧値及び電流値を測定することによって、ファラディックな漏れ電流及びオーミックな漏れ電流の２種類の漏れ電流を算出する。例文帳に追加

Two kinds of leakage current, i.e. a Faraday leakage current and an ohmic leakage current, are calculated by measuring the voltage value and the current value of an electric double layer capacitor during self-discharge. - 特許庁

ヒートフラックスセンサ１８２は、この熱によるファラディカップ１８１の上昇を熱浴部１８３の温度を基準として検出し、当該上昇に応じた電気信号を発生する。例文帳に追加

A heat flux sensor 182 detects the rise of the Faraday cup 181 taking the temperature of a hot bath part 183 as reference, and an electric signal corresponding to the rise is generated. - 特許庁

ウェハーに近接した位置から不要な不純物のイオンビームを取り込んで質量分析部２４に送り、その磁場をスイープさせることで質量の異なるイオンビームを通過させて検出ファラディー３６に導く。例文帳に追加

The method further comprises the steps of capturing the beam of unwanted impurity from a position near a wafer, sending the beam to a mass analyzer 24, sweeping its magnetic field to pass an ion beam having a different mass, and guiding the beam to a detecting Faraday cup 36. - 特許庁

加速管１３の加速条件の設定に応じたスキャン機構１５の所定の走査電極制御によりイオンビームＩＢは偏向され、所定のビーム制限スリットＳ２によりビーム中心領域が通過しファラディーカップＦＣに到達される。例文帳に追加

Ion beam IB is deflected by a control of a prescribed scan electrode of a scan mechanism 15 corresponding to a setting of acceleration condition of an accelerating tube 13, and the central region of the beam passes through a prescribed beam restricting slit S2 and reaches a faraday cup FC. - 特許庁

検査対象となるマスク１０に、微小開口５３が多数配列された検査用メンブレン５１を形成し、ウェハステージ２４に、このメンブレン５１の微小開口５３を透過した電子ビームの電流量を測定するファラディカップ５５を設ける。例文帳に追加

An inspection membrane 51, on which a multitude of rows of fine perforations 53 are arrayed, is formed on the mask 10 which becomes the object of inspection while a Faraday cup 55 for measuring the amount of current of electronic beams which have penetrated the fine perforations 53 of the membrane 51 is provided on a wafer stage 24. - 特許庁