プラズマ周波数の英語

多重周波数プラズマ・エッチング反応装置及び方法例文帳に追加

MULTIPLE FREQUENCY PLASMA ETCHING REACTION APPARATUS AND METHOD - 特許庁

プラズマプロセス異常を検出するための周波数モニタリング例文帳に追加

FREQUENCY MONITORING FOR DETECTING PLASMA PROCESS ABNORMALITY - 特許庁

光励起表面プラズマを用いた周波数変換装置及び方法例文帳に追加

FREQUENCY CONVERTER AND FREQUENCY CONVERSION METHOD USING LIGHT EXCITATION SURFACE PLASMA - 特許庁

炭化ケイ素層のデュアル周波数プラズマ励起化学気相成長例文帳に追加

DUAL FREQUENCY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SILICON CARBIDE LAYERS - 特許庁

プラズマ生成用混合ガスの比率を変化させない状態で、印加されるプラズマ周波数を変更して当該プラズマ周波数のプラズマ組成に対応する薄膜を順次形成する過程を含む構成とした。例文帳に追加

The method includes changing a plasma frequency to be applied, while not changing a composition ratio of a mixed gas for plasma generation, to sequentially form thin films corresponding to a plasma composition of the plasma frequency. - 特許庁

プラズマチャンバは、プラズマとＲＦエネルギーを容量結合させる二重周波数バイアス源と、プラズマとＲＦエネルギーを誘導結合させる単一周波数源又は二重周波数源とを備える。例文帳に追加

The plasma chamber includes dual-frequency bias source that capacitively couples the RF energy to the plasma, and a single or dual frequency source that inductively couples the RF energy to the plasma. - 特許庁

プラズマ発生用の電源は、ＲＦ周波数、ＶＨＦ周波数またはマイクロ波周波数の交流であることが好ましい。例文帳に追加

A power source of the plasma generation is preferably AC of RF frequency, VHF frequency or microwave frequency. - 特許庁

３以上の周波数５２，５４，５６でプラズマを励起し、それによって、その前記３以上の周波数によるプラズマの励起がプラズマ中でいくつかの異なる現象を同時に発生させることにより、加工物１８が真空プラズマ処理チャンバ１０内のプラズマで処理される。例文帳に追加

A workpiece 18 is processed with a plasma in a vacuum plasma processing chamber 10 by exciting the plasma at three or more frequencies 52, 54, and 56 such that the excitation of the plasma by the three or more frequencies simultaneously causes several different phenomena to occur in the plasma. - 特許庁