上方置換の英語

そして、上方導入管２４から処理チャンバ１１内に窒素ガスが導入されるとともに、処理チャンバ１１内の雰囲気がウエハ周囲排気口２６から急速に排気されて、処理チャンバ１１内の雰囲気が上方導入管２４から導入される窒素ガスの雰囲気に短時間で置換される。例文帳に追加

Then, nitrogen gas is introduced from an upper introducing pipe 24 into a treating chamber 11, the atmosphere inside the treating chamber 11 is rapidly exhausted from a wafer peripheral exhaust port 26, and the atmosphere inside the treating chamber 11 is replaced with the atmosphere of the nitrogen gas introduced from the upper introducing pipe 24 in a short time. - 特許庁

凝集手段１３で電気分解する際に発生し滞留する水素ガスを、給湯加熱手段１４から供給する湯水を濾過手段１２の上部から注入することにより、濾過手段上方から置換排出するようにしている。例文帳に追加

Hydrogen gas which arises and stays when electrolyzed by cohesion means 13 is displaced and discharged from above a filtering means by injecting the hot water supplied from a hot water heating means 14 from the top of the filtering means 12. - 特許庁

光半導体素子を、Ｇｅ層２と、Ｇｅ層２上に形成され、ＧａＡｓのＡｓサイトの一部がＧａで置換されている第１ＧａＡｓ層３と、第１ＧａＡｓ層３の上方に形成されたＧａＡｓを含む活性層４とを備えるものとする。例文帳に追加

An optical semiconductor device includes: a Ge layer 2; a first GaAs layer 3 which is formed on the Ge layer 2 and in which an As site of GaAs is partially substituted with Ga; and an active layer 4, containing GaAs, formed above the first GaAs layer 3. - 特許庁

ポリイミド溶液若しくはポリミック酸溶液を用いて溶媒置換誘起相分離法若しくは熱誘起相分離法により得られるポリイミド多孔質体をドライエッチング処理することを特徴とするポリイミド多孔質体の通気速度向上方法に関する。例文帳に追加

This method for manufacturing such a porous polyimide body, related to the method for improving an air permeation rate, as is obtained by use of a polyimide solution or a polymic acid solution and by means of a solvent substitution induced-phase separation method or a thermally induced-phase separation method, is characterized by dry-etching treatment. - 特許庁

基板Ｇが下り傾斜路Ｍ_3に移ると、上方のリンスノズル１３８より帯状の吐出流でリンス液Ｓを供給され、基板Ｇ上のリンス液Ｓが着液するライン付近で薄膜状態の現像液Ｒ'はリンス液Ｓに置換されて現像が完全に停止する。例文帳に追加

When the substrate G moves to a downward slope way M_3; rinse liquid S is supplied from an upper rinse nozzle 138 by a belt-like discharge flow, the developer R in the thin film status is replaced by the rinse liquid S near a line where the rinse liquid S on the substrate G touches liquid, and consequently a development is completely stopped. - 特許庁

室内の居住空間１に空調空気の吹出口２ａを設けるとともに、居住空間１の上方にある非居住空間４に排気口を設け、居住空間１に低温の空気を供給しながら非居住空間４から高温の空気を排出して置換換気を行なう。例文帳に追加

A conditioned-air supply opening 2a is formed in an indoor living space 1, an air discharge opening is formed in a non-living space 4 at an upper part of the living space 1, and displacement ventilation is performed while supplying the air of low temperature to the living space 1 and discharging the air of high temperature from the non-living space 4. - 特許庁

包装機１は、筒状フィルム１０内に内容物を供給する内容物供給手段と、ガス置換を行うためガス筒状フィルム内に不活性ガスを供給するガス供給手段と、内容物が供給された筒状フィルム１０の上方開口部を密封する横シール装置２０とを有している。例文帳に追加

The packaging machine 1 has a content feeding means for feeding contents in a cylindrical film 10, a gas feeding means for feeding an inert gas in a gas cylindrical film to perform gas substitution, and a horizontal sealing apparatus 20 for sealing an upper opening of the cylindrical film 10 in which the contents are fed. - 特許庁