侵食率の英語

洗浄槽や洗浄キャリアの表面が侵食されることで発生するパーティクルがフォトマスク基板に付着することを防止しながら、超音波洗浄により基板表面のパーティクルを効率的に除去する。例文帳に追加

To efficiently remove particles on the surface of a photomask substrate by ultrasonic cleaning, while preventing particles produced by corrosion of a surface of a cleaning tank or a cleaning carrier from depositing on the photomask substrate. - 特許庁

スパッタリングターゲット１の裏面側を、シミュレーションによるターゲット寿命となったときの、前記ターゲット表面側の侵食形状に応じた形状とすることにより、ターゲット利用効率を大幅に向上させる。例文帳に追加

The efficiency of utilizing the target is considerably improved by forming a back side of the sputtering target 1 of a shape according to a shape of erosion on a face side of the target at the simulated target service life. - 特許庁

高周波あるいは高周波と直流が重畳された電源を用いたスパッタリングにおいて成膜レートを低下させることなく、ターゲット外周端部の侵食を促進しターゲット材料利用効率を向上させる。例文帳に追加

To provide a sputtering apparatus which uses a high-frequency power source or a direct-current power source superimposed by the high-frequency power, and has an improved use efficiency for a target material by promoting erosion in the peripheral part of the target without decreasing a film-deposition rate. - 特許庁

マグネトロンスパッタリング装置において、ターゲットの外周縁部を均等に侵食できてターゲットの利用効率が高く、その上、異常放電が発生し難く、良好な薄膜形成ができるようにする。例文帳に追加

To provide a magnetron sputtering system where the outer circumferential edge part of a target can be uniformly eroded, the utilizing efficiency of the target is high, further, abnormal discharge is hard to be generated, and satisfactory thin film deposition can be performed. - 特許庁

金属膜の残存及び下磁性層の侵食が生じることなく容易にバリア膜を形成することができ、これにより、磁気トンネル抵抗変化率を高めることができる磁気トンネル接合素子及びその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a magnetic tunnel joint element and a method for manufacturing it wherein a barrier film is easily formed with no residue of a metal film nor corrosion of a lower magnetic layer, for higher magnetic tunnel resistance change rate. - 特許庁

該抑制剤の構成物は化学機械研磨において応用し、金属層の高研磨除去率を維持すると同時に、金属エッチングの抑制の特性を兼ね備え、研磨過剰及び侵食等の研磨欠陥を減らすことができる。例文帳に追加

This constituent of inhibitor is applied to chemico-mechanical polishing; and while a high polishing removal rate of a metallization layer is being maintained, it has the property of suppressing metal etching, so that polishing failures, such as overpolishing and erosion, can be reduced. - 特許庁

この発明は、海岸及び河川の堤防、道路及び鉄道の表面等の地表面の侵食防止に用いられる機械による効率的な敷設が可能なブロックマット及びその簡単な製造方法並びにこのブロックマットを効率的に敷設するための敷設装置に関する。例文帳に追加

This invention concerns the mechanically laid anti-erosion block mats used on surface of banks, on levies, railroad and road elevations, the easy process of laying the mats and the block mat laying equipment.発音を聞く  - 特許庁

ＤＭＥ昇圧用のポンプを用いずに加圧することにより、ＤＭＥがポンプの気密用に使用されている有機材料を侵食する可能性を大幅に軽減でき、水素製造における運転効率の向上を図れる水素製造装置を提供する。例文帳に追加

To provide a hydrogen production apparatus in which a possibility that DME will erode an organic material used for air sealing of a pump can be significantly reduced by pressuring DME without using a pump for DME pressurization, and which enhances operation efficiency in hydrogen production. - 特許庁