平行ビーム法の英語

本製造方法は、光ビームをレーザ光出射装置４から出射させ、平行度変換レンズ９で光ビームを通過させながら、レーザ光出射装置４から平行度変換レンズ９までの距離を調整することによって、平行度変換レンズ９を出射した光ビームの平行度を調整するステップを有している。例文帳に追加

The method includes a step in which a light beam is emitted from the laser beam emitting device 4, and the parallelism of the light beam emitted from the parallelism adjusting lens 9 is adjusted by adjusting a distance from the laser emitting device 4 to the parallelism adjusting lens 9 while passing the light beam through the parallelism adjusting lens 9. - 特許庁

本発明による方法において、材料の除去中に、サブビームがレーザビームの異なる部分から生じるように、マスクに対して、マスクと実質的に平行な方向にレーザビームを動かすことにより、レーザビームの不均質性が補償される。例文帳に追加

According to the method, inhomogeneity of the laser bema is compensated by moving the laser beam with respect to the mask in a direction substantially parallel to the mask such that the sub beam is generated from different parts of the laser bema during the elimination of the material. - 特許庁

このように，選択スリット装置１８を回転させることで集中法と平行ビーム法を切り換えることができる。例文帳に追加

Thus, the convergence method and the parallel beam method can be switched to each other by rotating the slit device 18. - 特許庁

イオン注入に関し、イオンビームの平行度および注入角度を調整するための方法と装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and device to adjust parallelism and implantation angles of an ion beam in ion implantation. - 特許庁

一方向に複数のビームが平行に配列されたマルチビームを用いて画像を記録する際、実際に画像記録を行うことなく、所望の描画解像度を定量的に調整できるように、ビーム間の距離を定量的かつ正確に測定するビーム間隔測定装置およびビーム間隔測定方法を提供する。例文帳に追加

To provide a beam space measuring device and a beam space measuring method, which quantitatively and accurately measure the distance between beams so that desired resolution of drawing can be adjusted without actually recording an image when the image is recorded by using the multi-beams composed of a plurality of beams being arranged parallel to each other in one direction. - 特許庁

光ビーム検出センサは、検出面の向きを維持しつつ、検出面の法線軸を回転中心軸として回転、並びに光ビームの走査方向又は走査方向とは逆方向に平行移動する。例文帳に追加

A light beam detection sensor is turned using a normal line axis of a detection face as a turning center axis and moved in parallel in the scanning direction of the light beams or in the reversed direction thereof while keeping the direction of the detection face constant. - 特許庁

本方法は、コンピュータ断層撮影イメージングシステムを用いて被検体をスキャンして扇状ビームデータセットを得る段階と、扇状ビームデータセットを平行データセットの集合内にリビニングする段階と、平行データセットの集合を用いて画像を再構成する段階とを含む。例文帳に追加

This method includes a stage of providing a fan-shaped beam data set by scanning the subject by using the computer tomographic imaging system, a stage of living the fan-shaped data set in an assembly of a parallel data set, and a stage of reconstituting the image by using the assembly of the parallel data set. - 特許庁

電子ビームをマスク上の各位置に偏向して、マスクを通過した電子ビームで試料に露光を行う電子線露光装置において、偏向量によって変動する電子ビームの平行度及び非点収差を較正する、電子線露光装置及び電子線較正方法を提供する。例文帳に追加

To provide an electron beam exposure apparatus wherein an electron beam is deflected toward each position on a mask and a testpiece is exposed to the electron beam which has passed through the mask and the parallelism and astigmatism of the electron beam which changes according to an amount of deflection is calibrated, and to provide an electron beam calibration method. - 特許庁