衝突プラズマの英語

そして、ノズル５により生成されたクラスターとプラズマ発生部２１により発生させたプラズマ１０とを衝突させてクラスターをイオン化させる。例文帳に追加

Then, the clusters produced by the nozzle 5 and plasma 10 generated by the plasma generating part 21 are made collided to ionize the clusters. - 特許庁

プラズマ中のイオンがターゲットに衝突しターゲット材料が飛散しウェハに付着して薄膜を形成する。例文帳に追加

Ions in the plasma collide against the target, and a target material scatters and deposits on a wafer to form a thin film. - 特許庁

すると、プラズマ放電で発生したアルゴン陽イオンやラジカルが陰極チャック１０１側に向かって、ターゲット１に衝突する。例文帳に追加

And thereby, argon cations and radicals generated by the plasma discharge are collided with the target 1 toward the cathode chuck 101 side. - 特許庁

高圧力プラズマの電子密度および／または電子衝突周波数測定が可能な測定方法及び測定装置例文帳に追加

MEASUREMENT METHOD AND MEASURING DEVICE CAPABLE OF MEASURING ELECTRON DENSITY AND/OR ELECTRON COLLISION FREQUENCY OF HIGH-PRESSURE PLASMA - 特許庁

大気圧プラズマ中には多数の原子や分子などが存在することから、大気圧プラズマ中のイオンは単結晶ＡｌＮ基板６の表面６Ａに衝突する前に何らかの原子や分子と衝突し、直接単結晶ＡｌＮ基板６の表面６Ａに衝突しないので、表面６Ａにダメージを与えない。例文帳に追加

Since there exist many atoms, molecules, etc. in the atmospheric pressure plasma, ions in the atmospheric pressure plasma collide against atoms and molecules of some sort before colliding with the surface 6A of the single crystal AlN substrate 6 and do not directly collide against the surface 6A of the single crystal AlN substrate 6, thus causing no damage to the surface 6A. - 特許庁

パルスレーザー光によって発生した超高密度のＳｉプラズマ（１０^１４／ｃｍ^３）１を、シランガス、水素ガス等を用いた別のプラズマ反応で生成されたプラズマ２と衝突反応させる。例文帳に追加

The ultra-high density Si plasma (10^14/cm^3) 1 generated by a pulsed laser beam is subjected to collision reaction against the plasma 2 generated through a different plasma reaction using a silane gas, a hydrogen gas, etc. - 特許庁

かかる電子源から放出させた電子をチャンバ１内へ導入したガスに衝突させてプラズマを生成し、該プラズマ中のイオンを物品Ｗに照射する。例文帳に追加

Electron discharged from such an electron source is made collided with gas guided into the chamber 1 to have plasma generated, and ion in the plasma is radiated on the workpiece W. - 特許庁

第一真空チャンバ（６）の設置は、プラズマ源（１）からの気体負荷に原因があると思われる衝突セル（２４）内の残留圧を最小にすることにより衝突セル（２４）への気体負荷を減少する。例文帳に追加

Provision of the first evacuated chamber (6) reduces a gas load on the collision cell (24), by minimizing a residual pressure within the collision cell (24) that is attributable to the gas load from a plasma source (1). - 特許庁