衝突プラズマの英語

したがってプラズマは基板１の全面には衝突せず、パッドの配設エリアのみに衝突し、そのヌレ性を向上させる。例文帳に追加

Accordingly, the plasma does not collide with the entire surface of the substrate 1, but collides with only the arrangement area of the pad to enhance wettability. - 特許庁

したがってプラズマは基板１の全面には衝突せず、パッドの配設エリアのみに衝突し、そのヌレ性を向上させる。例文帳に追加

Therefore, the plasma does not collide against the whole surface of the substrate 1 but it collides only against the disposal areas of the pads to improve their wettabilities. - 特許庁

パルスレーザー光によって発生した超高密度のＳｉプラズマ（１０^１４／ｃｍ^３）１を、シランガス、水素ガス等を用いた別のプラズマ反応で生成されたプラズマ２と衝突反応させる。例文帳に追加

The ultra-high density Si plasma (10^14/cm^3) 1 generated by a pulsed laser beam is subjected to collision reaction against the plasma 2 generated through a different plasma reaction using a silane gas, a hydrogen gas, etc. - 特許庁

大気圧プラズマ照射部１５は、不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ４６を吹き出す放電管３３と、第２の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域と一次プラズマ４６が衝突されることによりプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ４７を発生する混合器４１を備える。例文帳に追加

The atmospheric pressure plasma irradiation section 15 comprises a discharge tube 33 for spouting out primary plasma 46 composed of induction coupling type plasma of inert gas, and a mixer 41 for generating secondary plasma 47 composed of mixed gas resulting in plasma via a collision between a mixed gas region and the primary plasma 46, the mixed gas region including second inert gas and reactive gas. - 特許庁

なお、レーザー光ＬＬ１，ＬＬ２の照射により、プルームプラズマＰＰ１，ＰＰ２内のイオンがプルームプラズマの交差衝突部空間を通過する距離に対して、上記イオンの衝突平均自由工程が数分の１以下となるような密度と温度を持つプルームプラズマが生成される。例文帳に追加

The application of the laser beams LL1 and LL2 results in production of the plume plasmas having density and temperature such that the collision mean free paths of ions in the plume plasmas PP1 and PP2 become no larger than a fraction of the distance traveled by the ions through a cross-colliding space. - 特許庁

放射ソースは、チャンバと、チャンバ内のプラズマ形成部位に燃料を供給するように構成された燃料供給と、放射ビームが燃料と衝突した場合に極端紫外線を放つプラズマが生成されるようにプラズマ形成部位に放射ビームを放つように構成されたレーザとを含む。例文帳に追加

A radiation source includes a chamber, a fuel supply configured to supply a fuel to a plasma formation region in the chamber, and a laser configured to emit a radiation beam to the plasma formation region so that plasma for emitting extreme ultraviolet radiation is generated when the radiation beam impacts the fuel. - 特許庁

低圧成膜室５内は、オリフィス３３によってプラズマジェット３５化されたプラズマ１３の範囲を広くし、且つ、プラズマジェット３５中のカーボン粒子と他の気体分子が衝突・結合するのを極力防いでカーボン粒子の活性を維持できるような気圧に設定されている。例文帳に追加

The atmospheric pressure inside the low pressure film forming chamber 5 is set to a value capable of increasing the range of the plasma 13 converted into plasma jet 35 by an orifice 33, and preventing the collision and coupling of the carbon particles in the plasma jet 35 with other gas molecules as much as possible to maintain the activity of the carbon particles. - 特許庁

そして、プルームプラズマＰＰ１とプルームプラズマＰＰ２の衝突により、周期的微細構造を有する物質（例えば、カーボンナノチューブ）が生成される。例文帳に追加

The collision of the plume plasma PP1 and the plume plasma PP2 results in the production of the substance having the periodic microstructure (e.g. carbon nanotube). - 特許庁