非等方プラズマの英語

（ａ）プラズマ非発生時には、反応ガス分子９２ａが凹部２０の側壁に等方的に吸着して、揮発性化合物が形成される。例文帳に追加

(a) When the plasma is not generated, reaction gas molecules 92a are isotropically absorbed by the sidewall of a recess 20 and a volatile compound is formed. - 特許庁

ゴム材が本来有する強度、圧縮永久歪、シール性、変形追随性等の特性を保持しつつ非粘着性、耐プラズマ性等のバランスが良い非粘着性シリコーン系エラストマー成形体の製造方法の提供例文帳に追加

To provide a method for producing a nontacky silicone-based elastomer molded product having good balance of nontackiness, plasma resistance, and the like, while keeping the characteristics originally possessed by a rubber material, such as strength, compression set, sealing properties and followingness to the deformation. - 特許庁

半導体分野等を含め非常に応用の広い炭化珪素単結晶を得ること、及び、炭化珪素単結晶に三フッ化窒素プラズマを用いて平滑にできる炭化珪素単結晶のエッチング方法を提供する。例文帳に追加

To provide a silicon carbide single crystal of wide applications, including semiconductor category, and to provide the etching method of the silicon carbide single crystal, capable of smoothing with nitrogen trifluoride plasma on it. - 特許庁

液晶パネル、プラズマディスプレイ、半導体ウェハ等などの繰返しパターンが形成されている検査対象物の欠陥検査を精度良く、しかも、非検査領域が存在しない検査方法を提供すること。例文帳に追加

To provide an inspection method wherein a non-inspection domain does not exist, capable of performing accurately defect inspection of an inspection object on which a repetitive pattern is formed, such as a liquid crystal panel, a plasma display or a semiconductor wafer. - 特許庁

非等方及び等方プラズマ処理を利用して高分子膜が均一な表面を有するようにすることによって、高分子膜の膨脹や収縮が容易になされることができるようにして、高速、高変位で動作が可能な高分子アクチュエーター及びその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a polymer actuator, capable of operating with high speed and high displacement, in which a polymer film has an uniform surface by using anisotropic and isotropic plasma processings, and the expansion and contraction of the polymer film is formed readily, and to provide a method of manufacturing the same. - 特許庁

電極等への反応生成物のパウダーや膜の付着と、電極や基体の異常温度上昇を防止し、高品質の膜を形成することが可能な非減圧のプラズマ処理装置と、同装置による薄膜形成方法および表面処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide a non-evacuated plasma treatment apparatus capable of depositing a high quality film by preventing the sticking of powder of a reaction product or a film on an electrode or the like and an abnormal rise of temperature of electrode or a base body, and a thin film depositing method and a surface treatment method using the apparatus. - 特許庁

透光性を有する被測定体の表面温度を非接触で、被測定体の透過光を検出しなくても測定できる方法とその装置、および、それを用いた成膜装置並びにエッチング装置等のプラズマ処理装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a method and a device capable of non-contactly measuring a surface temperature of a specimen having a light transmitting property without detecting transmitted light of the specimen, and a plasma treatment device using them such as a deposition device and an etching device. - 特許庁