ELECTRON BEAM TEST SYSTEMとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM TEST SYSTEM AND ELECTRON BEAM TEST METHOD例文帳に追加

電子ビームテストシステム及び電子ビームテスト方法 - 特許庁

ELECTRON BEAM TEST SYSTEM EQUIPPED WITH INTEGRATED SUBSTRATE CONVEYANCE MODULE例文帳に追加

集積基板搬送モジュールを備えた電子ビームテストシステム - 特許庁

The electron beam device irradiates primary electron beams generated by an electron gun on a test piece and forms the secondary electrons emitted from the test piece on a detector by a map projection optical system.例文帳に追加

電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。 - 特許庁

To provide a compact electron beam test system capable of saving a clean room space, and positioning a flat panel display surely under an electron beam test device.例文帳に追加

クリーンルームの空間を節約することができ、フラットパネルディスプレイを電子ビームテスト装置の下方に確実に位置させることができるコンパクトな電子ビームテストシステムを提供する。 - 特許庁

The electron beam test system analyzes faulty or breakdown caused by a process defect by irradiating an electron beam to a semiconductor integrated circuit device to be analyzed and obtaining a potential contrast.例文帳に追加

被解析対象物である半導体集積回路装置に電子ビームを照射して電位コントラストを取得することにより、プロセス欠陥に起因する不良又は故障を解析する電子ビームテストシステムである。 - 特許庁

To reduce an effect of an edge of a wafer during testing in a system to test a semiconductor wafer or the like by means of an electron beam.例文帳に追加

電子ビームを用いて半導体ウエハ等を検査するシステムにおいて、検査中にウエハのエッジの影響を低減すること。 - 特許庁

An electron beam irradiating unit 3 has a first deflector 2a for deflecting an electron beam to scan a surface of a test piece, and an electron detecting optical system 4 has a second deflector 21a for deflecting a test piece image beam so as to display a desired test piece image on an image displaying means 12 in synchronization with an output signal of the first deflector.例文帳に追加

電子ビーム照射手段３には電子ビームを偏向させて試料面を走査させる第１の偏向器２ａが設けられ、電子検出光学系４には前記第１の偏向器の出力信号に同期させて試料画像ビームを画像表示手段１２において所望の試料画像を表示するように偏向させる第２の偏向器２１ａを備えた構成とした。 - 特許庁