Furnace annealとは 意味・読み方・使い方

A furnace anneal is added after formation of first and second aluminum wiring lines 21, 31.例文帳に追加

また、第１および第２のアルミ配線２１，３１形成後に炉アニールを加える。 - 特許庁

These effects are available with a light heating type anneal furnace of a lower output than before, resulting in lower cost of the anneal furnace and longer life of the light heating source.例文帳に追加

しかも、従来より低出力の光加熱式のアニール炉でこれらの効果が得られ、アニール炉の低コスト化および光加熱源の長寿命化が図れる。 - 特許庁

In the process, not short-time heating by lamp anneal but furnace anneal is added as heat treatment after formation of an NSG layer 16 which is an uppermost layer of the first interlayer insulation film 10.例文帳に追加

このとき第１の層間絶縁膜１０の最上層であるＮＳＧ層１６の形成後の熱処理として、ランプアニールによる短時間加熱ではなく炉アニールを加える。 - 特許庁

To suppress contamination of a wafer by a metal impurity from a heat treatment furnace member, etc., while utilizing the merit of high- temperature anneal using hydrogen.例文帳に追加

水素を用いた高温アニールの利点を活用しつつ、熱処理炉用部材などからの金属不純物によるウェーハ汚染を抑制する。 - 特許庁

To provide an annealing method which can anneal a flexible tube on conditions equal to those in an atmosphere furnace while making use of an existing atmospheric furnace, and to provide a metal case used in the annealing method.例文帳に追加

既存の大気炉を活かしつつ雰囲気炉と同等の条件で焼鈍することができる焼鈍方法及びその焼鈍方法に使用する金属ケースを提供する。 - 特許庁

A fused material is formed by heating a fluoride starting material in a fusion chamber 12 of a growth furnace 10 having the fusion chamber 12 and an anneal chamber 14 to a temperature above a melting temperature.例文帳に追加

溶融室１２およびアニール室１４を有する成長炉１０の溶融室１２内にあるフッ化物の出発材料をその溶融温度以上の温度まで加熱して、溶融物を形成する。 - 特許庁

To provide a lamp anneal device which can measure residual oxygen density correctly while making the exhaust flow of atmosphere in a furnace 3 even, and which can exchange gas of a suction line 10 independently.例文帳に追加

ランプアニ−ル装置において、炉３内の雰囲気の排気流を一様にし正確に残余酸素濃度を測定できるとともに吸引ライン１０を単独でガス置換できるようにする。 - 特許庁