PH3とは 意味・読み方・使い方

For suppressing the depletion of the electrode 17A, annealing process is carried out in a PH3 atmosphere, to cause the phosphorous in the grains 18 to be diffused.例文帳に追加

この下部電極１７Ａの空乏化抑制のために、ＰＨ_3 雰囲気中でアニール処理を行い、微結晶１８にリンを拡散させる。 - 特許庁

In the inspection path PH3, a means (guide portions 31a, 32a, and guide groove 31b, 32b) for simultaneously guiding both end porions of the part P is provided.例文帳に追加

検査経路ＰＨ３に、パーツＰの両端部を同時にガイドする手段（ガイド部３１ａ、３２ａ、ガイド溝３１ｂ、３２ｂ）を設ける。 - 特許庁

At the time of forming a lower electrode 25A composed of two layers of amorphous silicon films which are different in phosphorus concentration by CDV method using mixed gas of SiH4 gas and PH3 gas as source gas, SiH4 gas concentration is kept constant and PH3 gas concentration is reduced from the middle of deposition.例文帳に追加

リン濃度の異る２層のアモルファスシリコン膜で形成される下部電極２５ＡをＳｉＨ_4ガスおよびＰＨ_3ガスの混合ガスをソースガスに用いたＣＤＶ法により形成する際、ＳｉＨ_4ガスの濃度は一定とし、ＰＨ_3ガスの濃度は成膜途中から低くする。 - 特許庁

A semiconductor substrate 11 is placed on a susceptor 10 within a reactor furnace 1, and a PH3 gas is fed into the reactor furnace 1 through a quartz gas nozzle 12, thereby doping the substrate 11 with P.例文帳に追加

反応炉１内のサセプター１０上に半導体基板１１を載置し、石英ガスノズル１２を通じてＰＨ_3 ガスを反応炉１内に供給することにより、半導体基板１１にＰをドーピングする。 - 特許庁

The method for producing the calcium-containing protein conjugate comprises sterilizing bean pulp in an autoclave, adding lactobacilli to the resultant bean pulp to effect fermentation to pH3 followed by addition of calcium carbonate and carrying out a fermentation continuously for further 3-5 days.例文帳に追加

豆パルプをオートクレーブで滅菌し、乳酸桿菌を添加してｐＨ３になるまで発酵させ、炭酸カルシウムを添加して更に３〜５日間継続して発酵させる。 - 特許庁

After insertion, phosphine (PH3) gas or a mixed gas containing phosphine is made to flow on a wafer 15 before the amorphous silicon film 12 is crystallized and changed into a polysilicon film, and the phosphorus is diffused into the silicon film 12.例文帳に追加

挿入後、前記アモルファスシリコン膜１２が結晶化してポリシリコン膜に変化する前から、ウェーハ１５上にホスフィン（ＰＨ_3）又はホスフィンを含む混合ガスを流し始めて、シリコン膜１２中にリンを拡散させる。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a capacitor of a semiconductor device which prevents the occurrence of failures and damages of the capacitor by a cleaning operation after PH3 doping, and simplifies the process.例文帳に追加

ＰＨ_3ドーピングを行った後の洗浄作業による不良の発生、ならびにキャパシタの破損を防止し、工程が単純化される半導体素子のキャパシタ製造方法を提供する。 - 特許庁

A third reflector 32 and a fourth reflector 34 respectively form a third separate light-distribution pattern PH3 and a fourth separate light-distribution pattern PH4 by reflecting light from the second semiconductor light-emitting element 24.例文帳に追加

第３リフレクタ３２および第４リフレクタ３４は、第２半導体発光素子２４からの光を反射して第３個別配光パターンＰＨ３および第４個別配光パターンＰＨ４を形成する。 - 特許庁