Peripheral Depositionとは 意味・読み方・使い方

To provide a technique of metallic film deposition using a gaseous phase raw material capable of reliably suppressing the deposition of the metallic film to a peripheral part of a semiconductor wafer.例文帳に追加

気相原料を使った金属膜の成膜技術であって、半導体ウェハ周辺部への金属膜の堆積を確実に抑制できる技術を提供する。 - 特許庁

Further, an erosion stop body 28 is provided around the vapor deposition material 25 to prevent a peripheral part from being eroded.例文帳に追加

また、蒸着材料２５の周囲に浸食停止体２８を設け、周辺部分が浸食されないようにする。 - 特許庁

PROCESS AND DEVICE WHICH PREVENT CARBON MONOXIDE POISONING IN PERIPHERAL EDGE OF SUBSTRATE IN THIN-FILM DEPOSITION SYSTEM例文帳に追加

薄膜堆積システム内における基板の周辺端部での一酸化炭素中毒を抑制する方法及び装置 - 特許庁

The coating film 21 is formed around the entire peripheral surface of the bolt 15 including a male screw part 15a by chemical vapor deposition.例文帳に追加

コーティング膜２１は、化学蒸着法により雄ネジ部１５ａを含めたボルト１５の周面全体に形成されている。 - 特許庁

A danger degree evaluating section 23 decides that a mesh having a large difference from the deposition height of a peripheral mesh has high danger degree.例文帳に追加

危険度評価部２３は、周辺のメッシュの堆積高との差が大きいメッシュについて、危険度が高いと判定する。 - 特許庁

To provide a cleaning method for a film deposition system by which a film deposited to the inside of a film deposition chamber can rapidly be removed under high pressure without damaging peripheral equipment and parts.例文帳に追加

周辺機器および部品を損傷させることなく成膜室の内部に付着した膜を高圧下で迅速に除去することができる成膜装置のクリーニング方法を提供する。 - 特許庁

The method for depositing glass particulates on the peripheral surface of a glass rod 6 for a core by the OVD method and by moving a plurality of burners 4 arranged along the peripheral surface back and forth comprises performing the deposition of the glass particulate by evading the distance (Lmax) between the deposition surface at which the deposition rate of the glass particulate on the deposition surface is maximized and the front ends of the burners.例文帳に追加

外付け法（ＯＶＤ法）によりコア用ガラス棒６の周面に、これに沿って配置した複数のバーナ４を往復移動させてガラス微粒子を堆積させる方法であって、堆積面におけるガラス微粒子の付着率が最大となる堆積表面とバーナ先端との距離（Ｌｍａｘ）を避けて、ガラス微粒子の堆積を行うことを特徴としている。 - 特許庁

To provide a vapor deposition apparatus capable of stabilizing film characteristics, even on an optical lens disposed at outer peripheral side of a dome.例文帳に追加

蒸着装置において、ドーム外周側に設置された光学レンズに対しても膜特性を安定させることを目的とする。 - 特許庁