Prealignmentとは 意味・読み方・使い方

A wafer 50 is automatically conveyed from a wafer carrier 541 to a prealignment section 520, and eccentricity errors (ΔX and ΔY) in the wafer 50 are detected by the prealignment section 520 for storing in a storage circuit.例文帳に追加

ウエハ５０をウエハキャリア５４１からプリアライメント部５２０へ自動搬送し、このプリアライメント部５２０でウエハ５０の偏心誤差（ΔＸ，ΔＹ）を検出し、記憶回路に記憶する。 - 特許庁

The substrate transfer mechanism 20 is equipped with a substrate prealignment mechanism 50, which is provided in a substrate carry-in region IA and performs prealignment of the substrate W waiting in the substrate carry-in region IA.例文帳に追加

基板搬送機構２０は、基板搬入側領域ＩＡに設けられ、基板搬入側領域ＩＡで待機される基板Ｗのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構５０を備える。 - 特許庁

To provide a prealignment device for an exposure apparatus which can reduce the footprint of the exposure apparatus as a whole.例文帳に追加

露光用の装置全体のフットプリントを小さくすることができる露光装置用プリアライメント装置を提供する。 - 特許庁

TRANSPARENT SUBSTRATE POSITION MEASURING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS PROVIDED WITH THE POSITION MEASURING APPARATUS, SUBSTRATE MEASURING METHOD, AND PREALIGNMENT APPARATUS例文帳に追加

透明基板の位置測定装置、該位置測定装置を備える露光装置及び基板製造方法並びにプリアライメント装置 - 特許庁

A substrate 90, preliminarily aligned on a prealignment stage, is mounted on a bed 105 of an alignment unit 101.例文帳に追加

プレアライメントステージにおいてプレアライメントされた基板９０は、アライメントユニット１０１の台１０５上に載置される。 - 特許庁

Processing order of prealignment final shot and global alignment first shot is determined such that the stage step driving time from the final processing shot of prealignment to the first processing shot of global alignment ends within the driving time of an object being driven in parallel.例文帳に追加

プリアライメントの最後に処理するショットからグローバルアライメントで最初に処理するショットへのステージステップ駆動時間が、並行して駆動している駆動物の駆動時間内に終るように、プリアライメント最終ショットとグローバルアライメント第１ショットのサンプルショットの処理順番を決定する。 - 特許庁

For a substrate W transported to a substrate stage 2 from a prealignment device 50 and retained on the substrate stage 2, a deviated quantity from the center of a field in an alignment camera 30 of an alignment mark 40 printed by a first exposure on the substrate W is found to compensate the position of a next substrate W on the prealignment 50 side based on the deviated quantity.例文帳に追加

プリアライメント装置５０から基板ステージ２に搬送されて該基板ステージ２上に保持された基板Ｗについて、該基板Ｗに一層目の露光で焼き付けられたアライメントマーク４０のアライメントカメラ３０の視野中心からのずれ量を求め、該ずれ量に基づいてプリアライメント装置５０側で次回の基板Ｗの位置を補正する。 - 特許庁

To position a substrate in such a manner that two edges orthogonal each other of the substrate mounted on chucks of an exposure device having a plurality of chucks do not deviated from the detection range of a sensor for prealignment provided in each chuck.例文帳に追加

複数のチャックを有する露光装置の各チャックに搭載された基板の直交する二辺の縁が、チャック毎に設けたプリアライメント用のセンサーの検出範囲から外れない様に、基板を位置決めする。 - 特許庁