global alignmentとは 意味・読み方・使い方

To provide an exposure apparatus for simultaneously conducting highly accurate measurement of global alignment and focus mapping and also provide a method for manufacturing a device using the same exposure apparatus.例文帳に追加

グローバルアライメント、フォーカスマッピングの高精度の同時計測を行える露光装置、これを用いるデバイス製造方法を提供する。 - 特許庁

To optimize a parameter value used in global alignment of an aligner during a mass production operation.例文帳に追加

露光装置のグローバルアライメントにおいて用いられるパラメータ値を、量産稼働中に最適化することを可能とする。 - 特許庁

The alignment mark has a first mark that can be utilized in global alignment measurement regarding a scribe line direction, and a second mark that can be utilized in prealignment measurement regarding the direction that orthogonally crosses the scribe line direction.例文帳に追加

アライメントマークは、スクライブライン方向に関してグローバルアライメント計測に利用可能な第１マークと、スクライブライン方向に直交する方向に関してプリアライメント計測に利用可能な第２マークを有する。 - 特許庁

To keep an alignment precision at high level always by correcting an alignment error caused by difference of stress on a main body by a main body supporting means if global alignment sequences are different between substrates at processing of a lot.例文帳に追加

ロットを処理する際に、基板間でグローバルアライメントシーケンスが異なる場合、本体支持手段が本体に及ぼす力が基板間で異なることによるアライメント誤差を補正し、アライメント精度を常に高レベルで維持することができるようにする。 - 特許庁

Processing order of prealignment final shot and global alignment first shot is determined such that the stage step driving time from the final processing shot of prealignment to the first processing shot of global alignment ends within the driving time of an object being driven in parallel.例文帳に追加

プリアライメントの最後に処理するショットからグローバルアライメントで最初に処理するショットへのステージステップ駆動時間が、並行して駆動している駆動物の駆動時間内に終るように、プリアライメント最終ショットとグローバルアライメント第１ショットのサンプルショットの処理順番を決定する。 - 特許庁

A plurality of patterns having priorities are registered to the recipe as the matching patterns of a global alignment point at the time of generating the recipe from the CAD data.例文帳に追加

CADデータからレシピを作成する際に、グローバルアライメント点のマッチング用パターンとして、優先度をつけた複数のパターンをレシピに登録する。 - 特許庁

When the generated recipe is executed first with the pattern inspection apparatus, pattern matching is conducted using the matching patterns in the priority sequence after movement to the global alignment point (801 to 803).例文帳に追加

作成したレシピを最初にパターン検査装置で実行する際、グローバルアライメント点へ移動した後、優先度順にマッチング用パターンを使用してパターンマッチングを行う（801〜803）。 - 特許庁

When the pattern matching is completed successfully; the global alignment is conducted in order to obtain amount of deviation and amount of rotation, by utilizing coordinates of the position at which the pattern is found and the coordinates designated from the CAD data.例文帳に追加

パターンマッチングが成功すれば、パターンが見つかった位置の座標と、CADデータから指定された座標を使用してグローバルアライメントを行い、ずれ量と回転量を求める。 - 特許庁