Scattering Inspectionとは 意味・読み方・使い方

To obtain an inspection efficiency, suitable for inspection target articles fed by scattering flow and to prevent the deterioration of yield by pinpoint sorting of defective articles.例文帳に追加

ばら流しで搬送される被検査物に好適な検査効率を得るとともに不良品をピンポイント選別して歩留りの悪化を防止する。 - 特許庁

To provide a method for calibrating a foreign matter inspection device capable of clearly separating the peak of the scattering intensity of a histogram obtained from the inspection result, due to the foreign matter inspection device in the calibration of the foreign matter inspection device using standard particles.例文帳に追加

標準粒子を用いた異物検査装置の校正において、前記異物検査装置による検査結果で得られるヒストグラムの散乱強度のピークの分離が、明確にできる異物検査装置の校正方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

A method and a system mounted on a computer are composed for determining the configuration of the light-scattering inspection system.例文帳に追加

光散乱検査システムの構成を決定するためのコンピュータに実装された方法およびシステムが提供されている。 - 特許庁

To provide a defect-inspecting apparatus for speedily detecting both of foreign object defects and light-scattering defects at the light-scattering transmission sheet by one inspection with high sensitivity.例文帳に追加

光散乱透過シートにおける異物欠点と光散乱欠点の両方を一回の検査で高感度にかつ高速に検出することができる欠点検査装置を提供する。 - 特許庁

To provide a flaw detector capable of detecting both of a foreign matter flaw and a light scattering flaw in a light scattering and transmitting sheet with high sensitivity at a high speed in a single inspection.例文帳に追加

光散乱透過シートにおける異物欠点と光散乱欠点の両方を一回の検査で高感度にかつ高速に検出することができる欠点検査装置を提供する。 - 特許庁

To implement a highly sensitive defect inspection method in a pattern inspection apparatus by reducing the effect of the unevenness of the brightness of a pattern generated from the variation of the film thickness and the scattering of the pattern width.例文帳に追加

パターン検査装置において、膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度な欠陥検査を実現する。 - 特許庁

A first light-receiving system of the optical system 10 receives scattered light formed, by scattering the inspection light with a foreign matter on a surface of the glass substrate 1 substantially vertically, with respect to the inspection light.例文帳に追加

光学系１０の第１の受光系は、検査光がガラス基板１の表面の異物により散乱された散乱光を、検査光に対してほぼ垂直の角度で受光する。 - 特許庁

To provide a semiconductor device for preventing an exfoliation and a scattering of a nonconductor resin applied for a batch wafer probing inspection even when a usual probing inspection is conducted after the batch wafer probing inspection, and to provide its inspecting method.例文帳に追加

ウェーハ一括プロービング検査後に通常プロービング検査を実施する場合でも、ウェーハ一括プロービング検査のために塗布した不導体樹脂の剥がれや飛散を防止する半導体装置及びその検査方法を提供する。 - 特許庁