Substrate Tiltとは 意味・読み方・使い方

In short, information such as a substrate, impurities, energy, dose quantity, tilt, and rotation to be used is acquired for evaluation of an amorphous layer.例文帳に追加

すなわち非晶質層評価するに当たって、使用する基板、不純物、エネルギ、ドーズ量、tilt、rotationなどの情報を取得する。 - 特許庁

To dispense with real-time adjustments which are made in the tilt and level of an exposure substrate in an exposure process.例文帳に追加

露光中に行う露光用基板の傾きおよび高さの実時間調整をなくす。 - 特許庁

A rotation driving mechanism part and a tilt mechanism part are controlled by a control unit 40, thereby continuously changing the tilt angle θ of a substrate holder 20 and a substrate 28' for the recording medium, from the minimum tilt angle to the maximum tilt angle, according to increase of film thickness of a protective film layer during film deposition.例文帳に追加

回転駆動機構部およびチルト機構部が制御ユニット４０に制御されることにより、基板ホルダー２０および記録媒体用基板２８’の傾斜角θが、成膜中、保護層の膜厚の増大に応じて最小傾斜角度から最大傾斜角度まで連続的に変化する。 - 特許庁

The tilt angle (α) of the substrate 20 in a horizontal direction by the substrate support means is within a range of 25 to 80°.例文帳に追加

上記基板保持手段による水平方向に対する基板２０の傾斜角度（α）は２５〜８０度の範囲である。 - 特許庁

The tilt angle of a sidewall of the first opening 111 to a substrate principal surface is >58° and the tilt angle of a sidewall of the second opening 112 to the substrate principal surface is ≤58°.例文帳に追加

第１開口部１１１の側壁の基板主面に対する傾斜角は５８°よりも大きく、第２開口部１１２の側壁の基板主面に対する傾斜角は５８°以下である。 - 特許庁

In the structure, C1-C2 structural transition is suppressed because a tilt angle decreases in a position closer to a substrate surface even when the tilt angle of a bulk FLC (ferroelectric liquid crystal) increases.例文帳に追加

この構造では、バルクＦＬＣのティルト角が増大しても、基板表面に近づくにつれティルト角が減少し、Ｃ１−Ｃ２構造転移を抑制できる。 - 特許庁

To effectively remove a solvent in a dyestuff film without degrading the tilt of an optical disk substrate.例文帳に追加

光ディスク基板のチルトを悪化させること無く、有効に色素膜中の溶剤を除去すること。 - 特許庁

Moreover, distribution of tilt angles between concavo-convex surfaces and the substrate surface within the concavo-convex face is optimized.例文帳に追加

また、凹凸表面と基板表面が成す傾斜角の凹凸面内での分布を最適化した。 - 特許庁