combination chuckとは 意味・読み方・使い方

ELECTROSTATIC CHUCK CONNECTOR AND ITS COMBINATION例文帳に追加

静電チャックコネクタとそのコンビネ—ション - 特許庁

The first and second chuck tables are positioned at a combination position where the holding surfaces are continuous, and a separation position by a positioning means.例文帳に追加

第１及び第２チャックテーブルは保持面が連続する合体位置と、離間位置とに位置付け手段により位置付けられる。 - 特許庁

An electrostatic chuck 5 has a combination structure, comprising a first base 30 and a second one 31 that can be separated.例文帳に追加

静電チャック５は、互いに分離可能な第１の基材３０と第２の基材３１とからなる組み合わせ構造を有している。 - 特許庁

The resistant element 31 is preferable for combination of a spin chuck side projection 6 provided on an insertion shaft part 3 of the spin chuck 1 and a stopper side projection 23 provided on the stopper 21 in response to the spin chuck side projection 6.例文帳に追加

上記抵抗要素３１としては、スピンチャック１の挿入軸部３に設けられるスピンチャック側突起６と、このスピンチャック側突起６に対応してストッパー２１に設けられるストッパー側突起２３との組み合わせとするのが好適である。 - 特許庁

A workpiece is mounted on the first and second chuck tables while positioning the first and second chuck tables at the combination position, and then split by a split means.例文帳に追加

第１及び第２チャックテーブルを合体位置に位置付けた状態で被加工物を第１及び第２チャックテーブル上に搭載し、分割手段で被加工物を第１及び第２被加工物に分割する。 - 特許庁

The water content exhausting mechanism 5 may be formed with a drain valve provided to a side part of the electrostatic chuck 1, a drain hole provided to the side part of the electrostatic chuck 1, or with a combination of these drain valve and drain hole.例文帳に追加

水分排出機構５としては、静電チャック１の側部に設けた水抜きバルブでも、あるいは静電チャック１の側部に設けた水抜き穴でも良く、さらには、これらを併せて設けても良い。 - 特許庁

In the method for manufacturing the spin chuck of the center gate system consisting of a combination of the spin chuck made of the resin and the insert fitment embedded on the central axial line of the spin chuck, the resin is filled in a round condition by providing a resin retention part at a position just below an injecting gate of the insert fitment.例文帳に追加

樹脂製スピンチャックとスピンチャックの中心軸線上に埋設されるインサート金具との組み合わせよりなるセンターゲート方式のスピンチャックの製造方法において、インサート金具の注入ゲート直下位置に樹脂滞留部を設けることで、樹脂を真円状態に充填することにした。 - 特許庁