electron beam scanとは 意味・読み方・使い方

The method has further a scan step to carry out serial scanning between the positions of the specified individual points with the electron beam.例文帳に追加

さらに、指定された各点位置間を前記電子ビームにより直線走査する走査ステップを有する。 - 特許庁

The excimer beam is reflected on the reflection surface 23R of the reflection mirror 23 to go along the electron beam passage to be radiated to an excimer beam radiation range 31 including an electron beam scan range 30 on the sample 3.例文帳に追加

エキシマ光は反射ミラー２３の反射面２３Ｒで反射され、電子ビーム通路に沿って進み、試料３上の電子ビーム走査領域３０を含むエキシマ光照射領域３１に照射されるようにする。 - 特許庁

To provide a transmission electron microscope having a scan image observation function for always passing a main beam through the center of an annular dark-field scan image detector even when scanning is carried out by a tilted electron beam on a sample.例文帳に追加

電子ビームを試料上で傾斜させて走査した場合でも、主ビームが常に円環状の暗視野走査像検出器の中心を通るようにすることができる走査像観察機能を有した透過型電子顕微鏡を実現する。 - 特許庁

In the electron beam inspection device, a stage shifting speed can be adjusted irrespective of a limit of electron beam deflection frequency by scanning electron beam in the same direction (a horizontal direction) with a direction of scan-shifting of the stage.例文帳に追加

本発明による電子線検査装置では、ステージをスキャン移動させる方向と同一の方向（水平方向）にて電子線を走査させることで、電子線の偏向周波数の限界に関係なく走査数によりステージ移動速度が調整可能となる。 - 特許庁

The electron beam 11 may be made to scan on an imaging surface 30A of a solid imaging element by supposing the sample 30 as the solid imaging element.例文帳に追加

前記試料３０を固体撮像素子としてこの固体撮像素子の撮像面３０Ａ上を走査させてもよい。 - 特許庁

To provide a beam scanning method capable of restraining interference of a transceiving beam, and capable of shortening a data rate of electron scan as to an azimuth direction.例文帳に追加

送受信ビームの干渉を抑制すると同時に、方位方向についての電子走査のデータレートを短縮することができるビーム走査方法を提供する。 - 特許庁

One of the mirror cylinder 1A is installed at a position, where electron beam from the mirror cylinder can scan at least the upper side of the test piece side face and the other mirror cylinder 1B is installed at a position where the electron beam can scan at least the lower side of the test piece side face, respectively.例文帳に追加

一方の鏡筒１Ａは、該鏡筒からの電子ビームが、少なくとも試料側面の上側を走査出来る位置に、他方の鏡筒１Ｂは、電子ビームが、少なくとも試料側面の下側を走査出来る位置に、それぞれ設けられる。 - 特許庁

In scan of the electron beam on the sample, blanking is periodically given to an electron beam, and simultaneously, a high voltage applying timing signal synchronized with a blanking signal from an excimer beam source control circuit 22 is supplied to the excimer beam source 21, so that the excimer beam is generated in a period within a blanking period.例文帳に追加

電子ビームの試料上走査において定期的に電子ビームにブランキングを掛けると同時に、エキシマ光源制御回路２２からブランキング信号に同期した高電圧印加タイミング信号をエキシマ光源２１に供給して、ブランキング期間以内の期間にエキシマ光を発生させる。 - 特許庁