faraday cupsとは 意味・読み方・使い方

The Faraday cups 18 are detachably mounted on the frame body from the rear face side of the frame body 12.例文帳に追加

ファラデーカップ１８は、枠体１２の背面側から着脱可能に枠体に取付けられている。 - 特許庁

By using a two-axis movable stage 120 for two-dimensionally moving a beam intensity measurement part 110 with a plurality of Faraday cups 112 arranged, the beam intensity is measured by moving a plurality of the Faraday cups 112 so as to position them at the same measurement point.例文帳に追加

複数のファラデーカップ１１２が配列されたビーム強度測定部１１０を２次元的に移動させる２軸可動ステージ１２０を用いて、複数のファラデーカップ１１２が同一測定点に位置するように移動させビーム強度を測定する。 - 特許庁

A stage 2 is provided with two Faraday cups 5, 6 the switching patterns of gains used by the respective Faraday cups are made different from each other to selectively use either cup 5, 6 according to current quantity, thereby preventing the current quantity from coming close to a switching point of gains.例文帳に追加

ステージ２にファラデーカップ５、６を２個設け、各ファラデーカップが用いるゲインの切り替わりパターンが互いに異なるものとして、電流量に応じてどちらかのファラデーカップ５、６を選択して用いることにより、電流量がゲインの切り替わり点付近に来るのを防止する。 - 特許庁

The electron beam that passes through the mark 32A enters Faraday cups 70 and 72 having marks 70A and 72A, respectively, and detects the position coordinates of an XY stage 60, when the amount of electricity detected by the Faraday cups 70 and 72 becomes maximum.例文帳に追加

このマーク３２Ａを通過した電子ビーム１５が、マーク７０Ａを有するファラデーカップ７０、及びマーク７２Ａを有するファラデーカップ７２に入射し、これらのファラデーカップ７０、７２によって検出される電気量が最大となるときのＸＹステージ６０の位置座標をそれぞれ検出する。 - 特許庁

Thereafter, the beam intensity is measured while moving the Faraday cups 112 to provide measurement points at an interval narrower than the arrangement pitch thereof.例文帳に追加

この後、ファラデーカップ１１２を、その配列ピッチよりも狭い間隔で測定点が与えられるように移動させながらビーム強度を測定する。 - 特許庁

A calculation processing part 200 is used for finding a correction value for correcting the specific characteristic of the Faraday cups 112 so as not to generate deviation in data of the same measurement point.例文帳に追加

演算処理部２００は、この同一測定点のデータにずれが生じないように、ファラデーカップ１１２の固有特性を校正するための補正値を求める。 - 特許庁

A plurality of Faraday cups 20 are disposed in one line in the radial direction of a circular plate sample holder 11 with a plurality of sample substrates 12 thereon and measure ion beam current.例文帳に追加

複数のファラデーカップ２０は、複数の試料基板１２を乗せた円板状試料ホルダ１１の半径方向に一列に並べて配置され、イオンビーム電流を測定する。 - 特許庁