film parameterとは 意味・読み方・使い方

In the calculation formula, a parameter A regarding the film quality of a film to be polished, a parameter B regarding the undulation state of the film surface, and a parameter C regarding the mechanical difference in the chemicalmechanical polishing devices are combined by an operator.例文帳に追加

かかる算出式では、研磨対象の膜の膜性状に関するパラメータＡと、膜表面の起伏状態に関するパラメータＢと、化学的機械的研磨装置の装置間機差に関するパラメータＣとが演算子で結合されている。 - 特許庁

When a difference exists between film thickness of the formed resist film and target film thickness, the recipe preparation device 30 corrects the coating treatment parameter.例文帳に追加

形成されたレジスト膜の膜厚と目標膜厚との間に差がある場合には、レシピ作成装置３０は塗布処理パラメータを補正する。 - 特許庁

An oil film parameter of the oil film formed between an input disc 1 and an output disc and a roller 3 is found, and in the case when the found oil film parameter A is smaller than an abnormal threshold value A_0, oil temperature is lowered.例文帳に追加

入力ディスク１及び出力ディスク２とローラ３との間に形成される油膜の油膜パラメータを求め、求めた油膜パラメータΛが異常閾値Λ_０より小さい場合には油温を低下させる。 - 特許庁

Respective parameters, included in a parameter group indicating shapes of the thin film convexities, the thin film concavities, and intermediate parts between the thin film convexities and the thin film concavities, are represented by an effective film thickness, and the respective parameter values are changed by changing the effective film thickness, to perform fitting of a theoretical spectrum to a measurement spectrum.例文帳に追加

そして、薄膜凸部、薄膜凹部、および、薄膜凸部と薄膜凹部との間の中間部の形状を表すパラメータ群に含まれる各パラメータを有効膜厚にて表現し、有効膜厚を変更することにより各パラメータの値を変更して理論スペクトルの測定スペクトルに対するフィッティングが行われる。 - 特許庁

METHOD OF CALCULATING PROPER FILM THICKNESS FOR PS, AND PROCESS PARAMETER AUTOMATIC CORRECTION SYSTEM FOR RESIST APPLICATION MEANS例文帳に追加

ＰＳの適正膜厚算出方法及びレジスト塗布手段のプロセスパラメータ自動補正システム - 特許庁

A model code is read from a photographic film and a correction parameter corresponding to this model code is fetched.例文帳に追加

写真フイルムから機種コードを読み取り、この機種コードに対応した補正パラメータを取り出す。 - 特許庁

Since the gap t is provided as one additional design parameter, adjustment of film thickness is facilitated.例文帳に追加

これによって、ギャップｔが設計パラメータの一つとして追加され、膜厚が調整しやすくなる。 - 特許庁

Based on a film formation rate prediction formula acquired beforehand and an apparatus parameter acquired during film formation processing previously performed, a predicted value of the film formation rate is calculated.例文帳に追加

予め取得された成膜レート予測式と、先に実施された成膜処理中に取得された装置パラメータとに基づいて、成膜レート予測値が算出される。 - 特許庁