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low energy electronsとは 意味・読み方・使い方
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「low energy electrons」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 21件
To provide a method for manufacturing a radiation detector for detecting low energy (e.g., 200 eV) electrons.例文帳に追加
低エネルギー(例えば200eV)電子を検出する放射線検出器の製造方法を提供する。 - 特許庁
As plasma of inert gas is produced in the chamber 22 mainly by inductive coupling, electrons in the plasma has low energy.例文帳に追加
不活性ガスのプラズマは、主に誘導結合によってチャンバ２２内に生成されるので、プラズマ中の電子は低エネルギーを有する。 - 特許庁
At this point, electrons having low energy are discharged from an opening 14 by applying a voltage to an electrode 21.例文帳に追加
ここで、電極２１に電圧を印加するとチャンバ２２内の低エネルギーを有する電子が開口１４から放出される。 - 特許庁
The substrate is subjected to the positive column 15 of a plasma of low-energy electrons, that is, an electrical neutral part and a species reactive with the substrate.例文帳に追加
基板は低エネルギー電子のプラズマの陽光柱１５、すなわち、電気的中性部及び、基板と反応する種に曝される。 - 特許庁
In Auger electrons discharged from the bottom surface (s) of a contact hole (h), nearly entire Auger electrons having low energy are discharged to the outside of a hole from the bottom of the contact hole (h) by the magnetic field of a second objective lens 9.例文帳に追加
コンタクトホールｈの底面ｓから放出されたオージェ電子のうち、エネルギーの低いオージェ電子の殆どは、第２対物レンズ９の磁界によって、コンタクトホールｈの底から穴の外に放出される。 - 特許庁
Also, by injecting a low energy electronic beam lower than 500 keV inside a PET bottle 31, electrons are scattered through an air inside the PET bottle 31 and as electrons propagate around even if irregularities such as a thread part or a level difference exist inside a PET bottle 31, hence, the inner surface of the PET bottles 31 is fully sterilized.例文帳に追加
また、５００ｋｅＶ以下の低エネルギーの電子線をペットボトル３１内に注入することにより、電子がペットボトル３１中の空気で散乱し、ペットボトル３１内にネジ部や段差等の凹凸があっても電子が周り込むので、ペットボトル３１の内面が十分に殺菌される。 - 特許庁
This electron beam device is equipped with a reflected electron detecting means 50 of an integrated double detection type where a reflected electron detecting element 31, which uses a scintillator element or a semiconductor element that has a high detection sensitivity of high energy reflected electrons and a long life, and a secondary electron generating electrode 33, which is advantageous in detect reflected electrons of low energy at high efficiency, are arranged adjacently.例文帳に追加
高エネルギーの反射電子の検出感度が高く、長寿命なシンチレータ素子、あるいは半導体素子を用いた反射電子検出素子３１と低エネルギーの反射電子の高効率検出に有利な二次電子発生電極３３とを隣接して配置した、２検出方式一体型の反射電子検出手段５０を設ける。 - 特許庁
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「low energy electrons」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 21件
To provide a mass analyzer that reduces noise due to plus ions, minus ions and electrons of extremely low energy drifting in an atmosphere.例文帳に追加
質量分析装置において、雰囲気中に漂っているエネルギーの極めて低い＋イオン、−イオンや電子に因るノイズを低減することを解決しようとする課題とする。 - 特許庁
To provide an electron flood apparatus capable of discharging electrons with low energy and being maintained with mitigated burden, and an ion implanter having it.例文帳に追加
低エネルギーの電子を放出可能であり、メンテナンス負担が軽減されるエレクトロンフラッド装置及びそれを備えるイオン注入装置を提供する。 - 特許庁
To provide an ion beam irradiation device which is equipped with an electron source that can generate large amount of electrons of low energy by a drawing voltage lower than the conventional technology as an electron source for charge suppression of the treatment body.例文帳に追加
被処理体の帯電抑制用の電子源として、従来技術よりも低い引出し電圧で低エネルギーの電子を多量に発生させることができる電子源を備えるイオンビーム照射装置を提供する。 - 特許庁
To provide a thermoelectron generating source of indirect heating method, in which space charge limitation can be moderated when thermoelectrons are extracted, and the thermal electrons with low energy can be generated in a large amount.例文帳に追加
傍熱方式のものであって、熱電子引き出しの際の空間電荷制限を緩和して、低エネルギーの熱電子を大量に発生させることができる熱電子発生源を提供する。 - 特許庁
To reduce electric charges on the surface of a substrate accompanying ion beam irradiation, without deteriorating the vacuum level in a beam line or a substrate processing chamber, by generating a large number of low energy electrons and utilizing them for neutralization.例文帳に追加
ビームラインや基板処理室の真空度悪化を惹き起こすことなく、低エネルギーの電子を大量に発生させてそれを中和に利用して、イオンビーム照射に伴う基板表面の帯電を小さく抑えることができるようにする。 - 特許庁
To provide a device for generating a large amount of electrons of low energy, reducing the charge-up of a base in accompany with the irradiation of ion beam, and free from the vacuum down of a beam line and the like.例文帳に追加
低エネルギーの電子を大量に発生させて、イオンビーム照射に伴う基板のチャージアップを小さく抑えることができ、しかもビームライン等の真空度悪化を惹き起こすことのない装置を提供する。 - 特許庁
Since the base subband has a wide-band width of about 200 meV, the electrons which shift from the subband of n=2 to the base subband move to a low-energy region in the base subband in a very short time.例文帳に追加
ここで、基底サブバンドは、約２００ｍｅＶといった広いバンド幅を有しているため、ｎ＝２のサブバンドから基底サブバンドへと遷移した電子は、基底サブバンド内の低エネルギー領域へと極めて短い時間のうちに移動する。 - 特許庁
A subject 100 is irradiated with a low-energy X-ray below 20 keV from an X-ray source 10, a transmitted low-energy X-ray is converted and amplified into electrons by a gas electron amplifier 12, and detected by an electron detector 14, and a low-energy X-ray image of the subject 100 is formed by an X-ray image forming device 16.例文帳に追加
Ｘ線源１０から２０ｋｅＶ未満の低エネルギーＸ線を被写体１００に照射し、透過する低エネルギーＸ線をガス電子増幅器１２で電子に変換して増幅し、電子検出器１４で検出してＸ線画像形成装置１６により被写体１００の低エネルギーＸ線画像を形成する。 - 特許庁
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