pattern cross sectional shapeとは 意味・読み方・使い方

To enter into consideration of an influence of pattern density/position near a pattern to be measured, in a process of estimating a cross-sectional shape of the pattern by matching a SEM signal waveform of the pattern, with a library correlating a cross-sectional shape calculated by a simulation and a signal waveform.例文帳に追加

計測対象パターンのＳＥＭ信号波形と，シミュレーションにて算出した断面形状と信号波形を関連づけるライブラリとのマッチングにより計測対象パターン断面形状を推定する手法において、対象パターンの近傍のパターン密度／配置の影響が考慮されるようにする。 - 特許庁

The cross sectional shape of the resist pattern before the core forming step is thick in the resist center part and thin in the edge part.例文帳に追加

コアを形成するステップの前のレジストパターンの断面形状は、レジスト中央部が厚く、および端部が薄い。 - 特許庁

METHOD FOR CONTROLLING CROSS-SECTIONAL SHAPE OF PHOTOSENSITIVE RESIN PATTERN, ELECTROFORMING DIE USING THE SAME, MICROCHEMICAL CHIP, DNA CHIP, AND MEMS PRODUCT例文帳に追加

感光性樹脂パターンの断面形状制御法、およびそれを用いた電鋳金型、マイクロ化学チップ、ＤＮＡチップおよびＭＥＭＳ製品 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING MANUFACTURING PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE, AND PATTERN CROSS-SECTIONAL SHAPE ESTIMATION METHOD AND ITS APPARATUS例文帳に追加

半導体デバイス製造プロセスモニタ装置および方法並びにパターンの断面形状推定方法及びその装置 - 特許庁

The cross sectional profile of the core device of the light control pattern of the light guide plate molding die can be polygonal, V-shaped, semi-circular profile and other geometrical shape.例文帳に追加

導光板成形用型の調光パターンのコア装置の断面形は多角形、Ｖ字形、半円形その他の幾何形状とされうる。 - 特許庁

To provide a method for forming a pattern membrane by which the pattern membrane having a quadrangular cross-sectional shape in which two cross-sectional angles specified at both ends of long sides among mutually facing long sides and shot sides are mutually different is formed with high accuracy as much as possible.例文帳に追加

互いに対向する長辺および短辺のうち、その長辺の両端において規定される２つの断面角度が互いに異なる四角形状の断面形状を有するパターン膜を可能な限り高精度に形成することが可能なパターン膜の形成方法を提供する。 - 特許庁

A pattern member 1 in which a plurality of cross-sectional shape members 11-1 to 11-3 corresponding to a cross-sectional pattern of the structure are integrally connected to a frame shaped member 12 by a connecting member 13 is formed by patterning a planar metal member.例文帳に追加

構造体の断面パターンに対応する複数の断面形状部材１１−１〜１１−３が、枠状部材１２に連結部材１３で一体に連結されたパターン部材１を、板状の金属部材をパターンニング加工して形成する。 - 特許庁

The pattern roll 14 for compressing an extrusion sheet discharged from a T die in cooperation with a pressure roll is configured by spirally winding a pattern wire 21 having a cross-sectional shape corresponding to a pattern portion around a metal roll 200.例文帳に追加

Ｔダイから吐出した押出シートを押さえロールと協働し挟圧するパターンロール１４を、金属ロール２００に、パターンの部分に対応した断面形状を有するパターンワイヤー２１を螺旋状に巻き付けて構成する。 - 特許庁