poly siliconとは 意味・読み方・使い方

A poly-silicon film 4 is formed on the entire face of a surface region of a silicon semiconductor substrate 1, and this poly-silicon film 4 is patterned so that a line width of a poly-silicon film 4' in a field oxide film 2 is made larger than a line width of the poly-silicon film 4 in an element forming region.例文帳に追加

シリコン半導体基板１の表面領域の全面にポリシリコン膜４を形成し、このポリシリコン膜４をパターニングして、フィールド酸化膜２におけるポリシリコン膜４'の線幅が素子形成領域におけるポリシリコン膜４の線幅よりも大きくなるようにする。 - 特許庁

Moreover, a silicon oxide film 9 is formed on it, a low-resistance poly silicon film 11 is formed by implanting an impurity into the poly silicon films 7a, 7b with the silicon oxide film 9 as a mask.例文帳に追加

さらにその上にシリコン酸化膜９を形成し、シリコン酸化膜９をマスクとしてポリシリコン膜７ａ，７ｂに不純物を導入して低抵抗ポリシリコン膜１１を形成する。 - 特許庁

SYNTHESIS OF POLY[(SILYLYNE)ETHYNYLENE] AND POLY[(SILYLENE)ETHYNYLENE] AND PREPARATION OF SILICON CARBIDE HAVING THE SAME AS PRECURSORS例文帳に追加

ポリ［（シリリン）エチニレン］およびポリ［（シリレン）エチニレン］の合成ならびにそれらを前駆体とする炭化ケイ素の作製 - 特許庁

MULTI-LAYER HIGH QUALITY GATE DIELECTRIC FOR LOW-TEMPERATURE POLY-SILICON TFT例文帳に追加

低温ポリシリコンＴＦＴのための多層高品質ゲート誘電体 - 特許庁

Finally, a poly-silicon layer defining the emitter region is deposited on the silicon germanium Epitaxial layer.例文帳に追加

最後に、シリコン・ゲルマニウム・エピタキシャル層上に、エミッタ領域を画定するポリシリコン層を付着させる。 - 特許庁

To provide a polishing agent for a silicon oxide capable of polishing a silicon oxide film on a poly-silicon film at high speed and suppressing polish proceeds of the poly-silicon film when the poly-silicon film is exposed, in the method for manufacturing a semiconductor device, and the polishing method using the polishing agent.例文帳に追加

半導体製造方法において、ポリシリコン膜上の酸化ケイ素膜を高速で研磨でき、かつ、ポリシリコン膜の露出時にポリシリコン膜の研磨の進行を抑えることができる酸化ケイ素用研磨剤とそれを用いた研磨方法を提供する。 - 特許庁

To miniaturize a PROM integrated circuit using poly-silicon fuse technology.例文帳に追加

ポリシリコンヒューズ技術を用いたＰＲＯＭ集積回路の小型化を図る。 - 特許庁

MANUFACTURE OF POLY-CRYSTAL SILICON LAYER AND SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加

多結晶シリコン層の製造方法および半導体装置の製造方法 - 特許庁