pre-bakeとは 意味・読み方・使い方

A pre-bake unit (PRE-BAKE) 48 is mounted with a roller conveyance unit 126 for substrate transfer at a start end portion 100b outside a floating surface 100a of the floating stage 100 on a substrate conveyance line.例文帳に追加

このプリベークユニット（ＰＲＥ−ＢＡＫＥ）４８は、基板搬送ライン上で浮上ステージ１００の浮上面１００ａよりも外側の始端部１００ｂに基板受け渡し用のコロ搬送部１２６を搭載している。 - 特許庁

The thermal processing section 32 of this apparatus has a hot air supply unit 140 for supplying hot air into the processing chamber of a pre-baking unit (PRE-BAKE) 48.例文帳に追加

この熱的処理部３２は、プリベークユニット（ＰＲＥ−ＢＡＫＥ）４８の処理室内に温風を供給するための温風供給部１４０を備えている。 - 特許庁

In this baking apparatus, a pre-bake unit (PRE-BAKE) 48 sets two heating zones along a roller conveying path 104, makes the first half heating zone a preliminary heating zone 144 and makes the second half heating zone a main heating zone or a rapid heating zone 146.例文帳に追加

このプリベークユニット（ＰＲＥ−ＢＡＫＥ）４８は、搬送路１０４に沿って２つの加熱区間を設定し、前半の加熱区間を予備加熱ゾーン１４４とし、後半の加熱区間を本加熱部または急速加熱ゾーン１４６としている。 - 特許庁

A substrate-processing device 1 comprises a plurality of wet-type processing units (a cleaning unit 10 and a resist coating unit 30) provided on a first stage, a plurality of dry-type processing units (a dehydration bake unit 20 and a pre-bake unit 40) laminated above the wet-type processing unit, and vertically-moving robots 2a, 51, and 52.例文帳に追加

基板処理装置１は、１段目に配置される複数の湿式処理ユニット（洗浄ユニット１０，レジスト塗布ユニット３０）と、湿式処理ユニットの上方に積層される複数の乾式処理ユニット（脱水ベークユニット２０，プリベークユニット４０）と、上下動ロボット２ａ，５１，５２とを備えている。 - 特許庁

To provide a pre-baking method by which a resin film formed on a substrate can be heat-treated so as not to cause uneven drying, and a device by which the pre-bake method can be realized and a method by which a good liquid crystal display device which does not cause deterioration of display quality level can be manufactured though a pre-baking process.例文帳に追加

基板上に形成された樹脂膜を乾燥むらが生じないように熱処理することができるプリベーク方法およびそのプリベーク方法を具現化できるプリベーク装置並びに表示品位の低下を招かない良好な液晶表示装置をプリベーク工程を経て製造できる方法を提供する。 - 特許庁

In this substrate treating device, a first roller conveyance passage 80, the rising stages 82, 84 in tandem at two steps, and a second roller conveyance passage 86 are arranged along a substrate conveyance line in a pre-bake unit 48.例文帳に追加

プリベークユニット４８内には、基板搬送ラインに沿って、第１のコロ搬送路８０、２段縦列の浮上ステージ８２，８４および第２のコロ搬送路８６が設置されている。 - 特許庁

In a substrate treatment apparatus, a first roller transfer path 80, double-stage type levitating stages 82, 84, and a second roller transfer path 86 are formed along a substrate transfer line in a pre-bake unit 48.例文帳に追加

プリベークユニット（ＰＲＥ−ＢＡＫＥ）４８内には、基板搬送ラインに沿って、第１のコロ搬送路８０、２段式の浮上ステージ８２，８４および第２のコロ搬送路８６が設置されている。 - 特許庁