prebakeとは 意味・読み方・使い方

After prebake treatment is performed (S102), the semiconductor substrate is carried into an immersion projection exposure device (S103).例文帳に追加

そして、プリベーク処理を施した後（Ｓ１０２）、液浸投影露光装置内に半導体基板を搬入する（Ｓ１０３）。 - 特許庁

The both arm parts 31 of the substrate carrying arm 23 are advanced into the prebake unit 22 and heated.例文帳に追加

このとき、基板搬送アーム２３の両アーム部３１はプリベークユニット２２内に進入し、加熱される。 - 特許庁

For this regulation, prebake temperature and conditions in development processing after pattern exposure are set so that undercut parts having a proper depth and length are formed in a thin film material layer before post-bake.例文帳に追加

この調節のために、ポストベーク前の薄膜材料層に適切な奥行き長さをもったアンダーカット部分が形成されるように、プリベーク温度及び、パターン露光後の現像処理の条件を設定する。 - 特許庁

First heating 12 is applied on the resist film 11 to prebake the film 11 and, thereafter, second heating 13 is applied to vaporize a solvent included in the film 11.例文帳に追加

レジスト膜１１に対して、第１の加熱１２を行なってプリベークを行なった後、第２の加熱１３を行なってレジスト膜１１に含まれる溶媒を揮発させる。 - 特許庁

To prevent incomplete resist patterning due to unnecessary temperature rise of an arm for carrying a glass substrate coated with resist to a prebake unit.例文帳に追加

レジストが塗布されたガラス基板をプリベークユニットに搬送するための基板搬送アームの不要な温度上昇に起因するレジストパターニング不良を防止する。 - 特許庁

The prebake device is provided with a mechanism for temporarily stopping the fall of the lift pin; a mechanism for resuming of the fall; and a mechanism for continuing the close contact cooling through vacuum adsorption.例文帳に追加

リフトピンの下降を一旦停止させる機構、下降を再開させる機構、真空吸着により密着させた冷却を継続して行う機構を具備する。 - 特許庁

To provide a positive resist composition which does not require prebake in a process of forming a resist film and has high sensitivity and proper pattern-forming properties.例文帳に追加

レジスト膜を形成する工程においてプリベークを必要とせず、さらに高感度かつパターン形成性が良好なポジ型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a cooling method of glass substrate and a prebake device which will not cause creaks or breakages upon the release of vacuum suction, even if a glass substrate is caused to come into close contact with a cooling plate by vacuum suction and then is cooled.例文帳に追加

ガラス基板を真空吸着によってクールプレート上に密着させ冷却処理を行っても、吸着を解除時に、ガラス基板は軋んだり破壊しないガラス基板の冷却方法、及びプリベーク装置を提供する。 - 特許庁