soft x-ray irradiationとは 意味・読み方・使い方

The irradiation object is irradiated with X-rays concentrated from multiple directions corresponding to the number of the arrayed X-ray soruces so that the dosage of soft X-rays from the X-ray sources on the skin or on the shallow tissue of the irradiation object is relatively reduced to make sufficient the dosage on the focal point.例文帳に追加

前記Ｘ線源が持つ軟Ｘ線による皮膚もしくは照射体の浅部組織の線量を相対的に軽減して焦点部分の線量が十分になるように、前記配列したＸ線源の数に相当する多方向からのＸ線を照射体に集中して照射する。 - 特許庁

In the case of irradiation with a single beam of the pulse light, the angular distribution of the soft X-ray intensity is slightly biased to an irradiated side, a substantially symmetrical soft X-ray intensity distribution is obtained for the axis of the target gas supply nozzle 1.例文帳に追加

単一のパルス光が照射された場合、軟Ｘ線強度の角度分布は照射された側にやや偏っているが、このように４方向から照射することによって、標的ガス供給ノズル１の軸に対してほぼ対称な軟Ｘ線強度分布が得られる。 - 特許庁

In the static electricity eliminator 20, a soft X-ray irradiation window 12 is installed in a container wall of a vacuum container 10, a target 14 is arranged opposite to the soft X-ray irradiation window 12 inside the vacuum container 10, and a field-emission type electron emitter 16 extending opposite to the target 14 in one direction in a longitudinal wire shape is arranged.例文帳に追加

本静電気除去装置２０は、真空容器１０の容器壁に軟Ｘ線照射窓１２を設け、真空容器１０内部ではターゲット１４を軟Ｘ線照射窓１２に対向配置し、ターゲット１４に対向して一方向長手ワイヤ状に延びる電界放射型の電子エミッタ１６を配置した構成。 - 特許庁

Photoelectrons 65 generated by irradiation with a soft X-ray 63 are moved in the direction of the lens tube 57 which is kept at a relatively positive potential, so that the photoelectrons 65 are prevented from colliding against the opposed multilayer film 53.例文帳に追加

軟Ｘ線６３の照射によって発生した光電子６５は、相対的に正の電位が存在する鏡筒５７方向に移動し、対向する多層膜への衝突を防ぐことができる。 - 特許庁

The static eliminating transport device is provided with a transportation robot 2 which holds and transports a charged glass substrate M, and a soft X-ray irradiation unit 3 which neutralizes charged electricity on the glass substrate M by air ion for electrostatic elimination.例文帳に追加

帯電したガラス基板Ｍを保持して搬送する搬送ロボット２と、ガラス基板Ｍに帯電した電気を空気イオンによって中和して除電する軟Ｘ線照射器３とを備える。 - 特許庁

On an arm 24 of the transportation robot 2 holding the glass substrate M, a metallic net plate 4 which is set at a ground potential is arranged to face the glass substrate M with a predetermined distance, and the soft X-ray irradiation unit 3 is arranged so that the air ion can be formed at least between the glass substrate M and the metallic net plate 4.例文帳に追加

ガラス基板Ｍを保持する搬送ロボット２のアーム２４に、接地電位に設定された金網板４を、ガラス基板Ｍに所定の距離を隔てて対向するように配設し、少なくともガラス基板Ｍと金網板４との間に空気イオンが形成されるように軟Ｘ線照射器３を配設する。 - 特許庁

In the wafer static elimination method, electrons electrostatically charged in the wafer WEH are eliminated by irradiating the wafer WEH with soft X rays in the presence of an air current using an X-ray ionizer 1' before measuring the substrate current flowing to the wafer WEH by the electron beam irradiation, in a sample chamber in which a vacuum is produced.例文帳に追加

本発明のウェハの除電方法は、電子ビーム照射によりウェハＷＥＨに流れる基板電流を真空中の試料室内で測定する前に、Ｘ線イオナイザー１’を用いて軟Ｘ線を気流存在の条件下で、ウェハＷＥＨに向けて照射して、ウェハＷEＨに帯電している電子を除電する。 - 特許庁