vacuum alignmentとは 意味・読み方・使い方

The method for conveying the semiconductor wafer includes pressing of a first brush of an alignment stage cleaning mechanism 29 against a water vacuum stage of an alignment stage 5 of the semiconductor wafer W prior to conveying of the semiconductor wafer W to the alignment stage 5, rotating of the wafer vacuum stage in this state, and removing of the dust deposited on the wafer vacuum stage.例文帳に追加

半導体ウエハＷのアライメントステージ５への搬入に先立ち、アライメントステージクリーニング機構２９の第１のブラシをアライメントステージ５のウエハ吸着ステージに押し当て、その状態でウエハ吸着ステージを回転させ、ウエハ吸着ステージに付着した塵埃を除去する。 - 特許庁

Alignment marks are detected by a CCD camera 320 in the state in which a counter substrate 220 formed with the alignment marks is vacuum-held on a head 361.例文帳に追加

アライメントマークが形成された対向基板２２０をヘッド３６１に吸着保持した状態で、ＣＣＤカメラ３２０にてアライメントマークを検出する。 - 特許庁

ELECTROSTATIC HOLDER AND VACUUM ENVIRONMENTAL DEVICE AS WELL AS ALIGNMENT DEVICE OR LAMINATING DEVICE EMPLOYING IT例文帳に追加

静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びにアライメント装置又は貼り合わせ装置 - 特許庁

The vacuum chamber 1 installs the theodolite 2 measuring changes of the alignment of the test piece 4 by a thermal vacuum test in an outer wall, when the thermal vacuum test is carried out to the test piece 4 arranged inside.例文帳に追加

内部に配設された供試体４に対して熱真空試験を行う際に、熱真空試験による供試体４のアライメントの変化を測定するセオドライト２を、外壁に組み込んだ真空チャンバ１。 - 特許庁

While the panel 1 is sucked under a vacuum, an alignment mark is measured by a camera 10 and the panel 1 is moved.例文帳に追加

次に、該パネル１をバキューム吸着しつつアライントメントマークをカメラ１０で測定し、パネル１を移動させる。 - 特許庁

A plastic bolt is supplied to the side of an alignment delivery chute by adsorbing the plastic bolt by vacuum suction force generated in the plastic bottle adsorbing hole by vacuum suction force in the suction chamber 12.例文帳に追加

吸引室１２内のバキューム吸引力でプラスチックボトル吸着穴に発生したバキューム吸引力でプラスチックボトルを吸着し、整列払出シュート側に供給する。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition device for a liquid crystal alignment layer which efficiently forms an inorganic alignment layer with simple structure even when a deposition object is a large substrate.例文帳に追加

蒸着対象が大型基板であっても単純な構成で無機配向膜を効率よく形成する液晶配向膜用真空蒸着装置を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a pre-alignment sensor capable of being used in vacuum environment or chemical atmosphere without problem and detecting highly accurately.例文帳に追加

真空環境下や薬液雰囲気中で問題なく使えるとともに、高精度な検出ができるプリアライメントセンサを提供する。 - 特許庁