vuvとは 意味・読み方・使い方

To provide an oxide fluorescent substance having a high quantum splitting property in vacuum ultraviolet radiation (VUV) and to provide a method of producing the same.例文帳に追加

真空紫外線（ＶＵＶ）照射時に高い量子分裂能力を有する酸化物系の蛍光体、並びに該蛍光体の製造方法の提供。 - 特許庁

The laser beams of plural wavelengths from a DUV area to a VUV area are lit in order to solve the purpose hereinbefore.例文帳に追加

上記した課題を解決するために、ＤＵＶからＶＵＶ領域の複数の波長のレーザ光を照明する構成とした。 - 特許庁

To provide a photoresist monomer which can be used for light source in areas of VUV (157 nm) and EUV (13 nm) in addition to that of ArF (193 nm).例文帳に追加

ＡｒＦ（193nm）だけでなくＶＵＶ（157nm）及びＥＵＶ（１３nm）光源で用いることができるフォトレジスト単量体を提供する。 - 特許庁

The light source(extreme ultraviolet (EUV) light source 201) irradiates any of the EUV light, the deep ultraviolet (DUV) light or the vacuum ultraviolet (VUV) light.例文帳に追加

光源（ＥＵＶ光源２０１）は、ＥＵＶ光、ＤＵＶ光又はＶＵＶ光のいずれかの光を照射する。 - 特許庁

A resist pattern 7 is irradiated with VUV light 9 radiated from a light source 10 through a unit image formation optical system 11 and the mask 8.例文帳に追加

光源１０から放射されたＶＵＶ光９は、等倍結像光学系１１およびマスク８を介してレジストパターン７を照射する。 - 特許庁

To provide a fluoride single crystal which has sufficiently high transmittance in ultraviolet/vacuum ultraviolet (UV/VUV) regions and is excellent in laser resistance and resistance to UV/VUV, to provide a method for heat-treating a fluoride to obtain such a fluoride single crystal, and to provide a method for producing the fluoride single crystal.例文帳に追加

紫外・真空紫外（ＵＶ／ＶＵＶ）領域における透過率が十分高く且つ耐レーザー性や耐ＵＶ／ＶＵＶ性に優れたフッ化物単結晶、それを実現可能とするフッ化物の熱処理方法及びフッ化物単結晶の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a BaLiF_3 single crystal excellent in transmissivity of vacuum ultraviolet (VUV) light of 200 nm or shorter wavelength and excellent in laser resistance hardly suffering from the damage by laser light irradiation or the like, which is promising for an optical member for VUV light transmission, particularly for a last lens of an immersion exposure device.例文帳に追加

真空紫外光透過用光学部材、特に液浸式露光装置のラストレンズとして有望な、２００ｎｍ以下の真空紫外光（ＶＵＶ）の透過性、及びレーザー光照射による損傷等が少なく、レーザー耐性に優れたＢａＬｉＦ_３単結晶体を提供する。 - 特許庁

As the light source may be used a laser oscillator 110 emitting fluorine molecule laser, an argon dimer, a krypton dimer, or a VUV-ASE generator 210 emitting amplified spontaneous emission light.例文帳に追加

光源としては、フッ素分子レーザを出射するレーザ発振器１１０や、アルゴンダイマー、クリプトンダイマー、あるいはフッ素分子からの自然放出増幅光を出射するＶＵＶ−ＡＳＥ発生装置２１０を用いることができる。 - 特許庁