vuv-lightとは 意味・読み方・使い方

To provide a photoresist monomer which can be used for light source in areas of VUV (157 nm) and EUV (13 nm) in addition to that of ArF (193 nm).例文帳に追加

ＡｒＦ（193nm）だけでなくＶＵＶ（157nm）及びＥＵＶ（１３nm）光源で用いることができるフォトレジスト単量体を提供する。 - 特許庁

The black defect is removed by the same method as anodic oxidation by using that DLC is oxidized by partial VUV light irradiation from a scanning proximity place optical microscope probe in an ozone atmosphere, it becomes the volatile component and is removed.例文帳に追加

またはオゾン雰囲気下での走査近接場光学顕微鏡探針からの局所VUV光照射でDLCが酸化され揮発性成分となって除去されることを利用し、陽極酸化と同様な方法で黒欠陥を除去する。 - 特許庁

To provide a method for producing fluorophor particles which have sufficient durability against thermal deterioration conditions at the level of a thermal treatment on the production of PDP (plasma display panel) panels, and against vacuum ultraviolet light (VUV) deterioration conditions at the irradiation level of VUV used as the exciting light of PDP, and whose mutual coagulation is prevented, and to provide fluorophor particles produced by the production method.例文帳に追加

例えば、PDPパネル製造時の熱処理水準の熱劣化条件、PDPの励起光として使用される真空紫外線(VUV)照射水準の真空紫外線劣化条件に対して十分な耐性を有し、且つ蛍光体粒子同士の凝集が抑制された蛍光体粒子の製造方法および当該製造方法により製造された蛍光体粒子を提供する。 - 特許庁

To provide a phosphor which emits red light under vacuum ultraviolet light excitation of ≤180 nm, with high light-emitting efficiency, good color purity and short afterglow, and to provide a phosphor paste composition using the phosphor and a VUV-excited light emitting element.例文帳に追加

波長１８０ｎｍ以下の真空紫外線による励起下で、発光効率が高く、色純度が良好で、かつ残光も短い赤色発光を呈する蛍光体、及びこの蛍光体を用いた蛍光体ペースト組成物とＶＵＶ励起発光素子とを提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and method for a photochemistry treatment which enable the photochemistry treatment with a high throughput by the enhanced activation efficiency of VUV light with a simple equipment set.例文帳に追加

光化学処理装置及び光化学処理方法に関し、簡単な装置構成によりＶＵＶ光による活性化効率を高めて高スループットで光化学処理を行なう。 - 特許庁

To solve a problem wherein an inclined pattern is formed due to absorption of the light by the photoresist resin at the wavelength used for the light source in a lithographic process using KrF or ArF laser, VUV rays, EUV rays, electron beams, ion beams or the like as the light source.例文帳に追加

ＫｒＦ、ＡｒＦ、ＶＵＶ、ＥＵＶ、電子線（E-beam）及びイオンビーム（ion beam）等の光源を利用したリソグラフィー工程時に、フォトレジスト樹脂が光源に用いられる波長の光を吸収して傾斜したパターンを形成することを解決する。 - 特許庁

To obtain phosphor which has reduced luminance deterioration by baking and high luminous efficiency and emits a blue light, to provide a method for producing the same and to obtain a phosphor paste composition and a VUV-excited light-emitting element using the phosphor.例文帳に追加

ベーキングによる輝度劣化が少なく、発光効率の高い青色発光を呈する蛍光体、その製造方法、この蛍光体を用いた蛍光体ペースト組成物および真空紫外線励起発光素子の提供。 - 特許庁

To obtain phosphor which has reduced luminance deterioration by baking of a fluorescent screen formation process and high luminous efficiency and emits a blue light, a phosphor paste composition and a VUV-excited light-emitting element using the phosphor.例文帳に追加

蛍光膜形成工程のベーキング処理による輝度劣化が少なく、発光効率の高い青色発光を呈する蛍光体、この蛍光体を用いた蛍光体ペースト組成物並びにＶＵＶ励起発光素子の提供。 - 特許庁