MOVPEとは 意味・読み方・使い方

To provide a compound semiconductor wafer for MOVPE hard to cause slippage in a wafer plane, even if rapid temperature change is applied, and to provide its manufacturing method, and a manufacturing method of a compound semiconductor epitaxial wafer for MOVPE.例文帳に追加

急激な温度変化が与えられても、ウェハ面内にスリップが発生し難いＭＯＶＰＥ用化合物半導体ウェハ、その製造方法及びＭＯＶＰＥ用化合物半導体エピタキシャルウェハの製造方法を提供する。 - 特許庁

An n-type layer 103, the light emitting layer 104 and a p-type layer 105 in which III nitride compound semiconductor or the like is formed on a sapphire substrate 101 are sequentially formed by an MOVPE method or the like.例文帳に追加

MOVPE 法等により、サファイア基板１０１上にIII 族窒化物系化合物半導体等であるｎ型層１０３、発光層１０４、ｐ型層１０５を順次形成する。 - 特許庁

In S301, a silicon substrate 201 is carbonized using a carbon source whose decomposition temperature is within to the operation substrate temperature range of a metal organic vapor phase epitaxy (MOVPE) device, to form a silicon carbide layer 202, in the MOVPE device.例文帳に追加

Ｓ３０１で、有機金属気相成長（ＭＯＶＰＥ）装置において、このＭＯＶＰＥ装置の動作基板温度範囲に分解温度が属する炭素源を用いてシリコン基板２０１を炭化し、炭化珪素層２０２を形成する。 - 特許庁

When the multilayer quantum well active layer 15 is grown by MOVPE method, triethyl gallium is employed as a gallium source.例文帳に追加

また、ＭＯＶＰＥ法を用いて多重量子井戸活性層１５を成長する際には、ガリウム源としてトリエチルガリウムを用いる。 - 特許庁

To provide a novel epitaxial growth method of increasing an epitaxial growth speed of a nitride group semiconductor by a MOVPE method.例文帳に追加

ＭＯＶＰＥ法による窒化物系半導体のエピタキシャル成長速度を高める新たなエピタキシャル成長方法を提供すること。 - 特許庁

A p-type CdTe monocrystal layer 12 is epitaxially grown by using an MOVPE method and formed on a CdTe monocrystal wafer 11.例文帳に追加

ＣｄＴｅ単結晶ウェーハ１１上にｐ型ＣｄＴｅ単結晶層１２をＭＯＶＰＥ法によりエピタキシャル成長させて形成する。 - 特許庁

A substrate produced by sequentially growing an undoped InGaAs layer, an n-type InP layer on an n-type InP substrate by MOVPE is employed.例文帳に追加

ｎ型ＩｎＰ基板上に、順次、アンドープＩｎＧａＡｓ層，ｎ型ＩｎＰ層をＭＯＶＰＥ法により成長した基板を用いた。 - 特許庁

In S303, still in the MOVPE device, a nitride semiconductor layer 204 is stacked on the AlGaN buffer layer 203.例文帳に追加

そしてＳ３０３で、継続してこのＭＯＶＰＥ装置において、ＡｌＧａＮバッファ層２０３上に窒化物半導体層２０４を積層する。 - 特許庁