周端プラズマの英語

誘電体パーツ３１を支持する梁２６は，その端部周辺でのプラズマ電子密度Ｎ_ｅがカットオフのプラズマ電子密度Ｎ_ｃ以上になるように基板側に突出して設けられる。例文帳に追加

In order to make the plasma electron density N_e around the end of the beam 26 not less than the cutoff plasma electron density N_c, the beam 26 for supporting the dielectric parts 31 is so installed as to project to the substrate side. - 特許庁

噴出口２１１からアルゴン流が電極４１及び電極４２間の高周波電力によりプラズマ化され、予備プラズマとして筒状部１５内部に左端から右方向へ噴出される。例文帳に追加

An argon flow from a jet nozzle 211 is processed to plasma by means of a high-frequency power in between electrodes 41, 42, and blown out inside a cylindrical member 15 from a left end to a right direction as a preliminary plasma. - 特許庁

高周波電力の供給によって、プラズマキャピラリ４０の内部でガスがプラズマ化し、その先端部からボンディング対象８に対し噴出して表面処理が行われる。例文帳に追加

The gas is changed into plasma in the plasma capillary 40 by the supply of the high-frequency power, and the surface treatment is carried out by jetting it to the target 8 to be bonded. - 特許庁

プラズマを誘導加熱する電流は、リング状の導体１１に流れる電流であり、通常のコイルのように端をもたないため、完全な周方向のプラズマ均一性が実現される。例文帳に追加

Since the currents for effecting the induction heating to the plasma flow through the annular conductors 11, there exists no terminal in contrary to the case with a normal coil, so that perfect circumferential directional uniformity of the plasma can be realized. - 特許庁

噴出口２２１においては、アルゴン流が電極４３及び電極４４間の高周波電力によりプラズマ化され、予備プラズマとして筒状部１５内部に右端から左方向へ噴出される。例文帳に追加

In the blowing nozzle 221, the argon flow is processed to the plasma by means of the high-frequency power in between the electrodes 43, 44, and blown out inside the cylindrical member 15 from the right end to the left direction as the preliminary plasma. - 特許庁

基板端部を研磨することなく，またプラズマを発生させることなく，基板端部全周の洗浄を簡単な制御で一度に行う。例文帳に追加

To perform washing of all circumferences of the substrate ends at one time with an easy control, without polishing the substrate ends, and without generating plasma. - 特許庁

このプラズマ処理装置は、Ｘ方向の一端部から他端部に高周波電流Ｉ_R が流されるアンテナ３０を備えている。例文帳に追加

A plasma processing apparatus has an antenna 30 in which a high-frequency current I_R is flowed from one end part to the other end part in an X direction. - 特許庁

大気圧又はその近傍の圧力下でプラズマを生成して管状部材（フッ素樹脂部材）１２の開口端（被処理表面）１２Ａを改質する表面改質方法であって、開口端１２Ａが、プラズマ生成領域１８を越えてプラズマ生成領域１８の周囲１０ｍｍ未満の距離で囲まれる処理領域１７内に配されて行われることを特徴とする。例文帳に追加

The surface modifying method comprises generating plasma at atmospheric pressure or its neighboring pressure to modify the open end (surface to be treated) 12A of a tubular member (fluororesin member) 12, and the open end 12A is arranged in the treating region 17 within a radius of the plasma generation region 18 plus less than 10 mm and is subjected to modification. - 特許庁