検査ステーションの英語

前記カセットステーションＳ１に第一の検査・測定ステーションＳ２が接続され、前記処理ステーションＳ３に第二の検査・測定ステーションＳ６が接続され、前記インターフェイスステーションＳ４に第三の検査・測定ステーションＳ７が接続されている。例文帳に追加

A first inspection/measurement station S2 is connected to a cassette station S1, a second inspection/measurement station S6 is connected to a treatment station S3, and a third inspection/measurement station S7 is connected to an interface station S4. - 特許庁

車載用小型カメラの検査ステーション例文帳に追加

INSPECTION STATION FOR ON-VEHICLE COMPACT CAMERA - 特許庁

検査ステーションをコンパクトにすることにある。例文帳に追加

To make an inspection station compact. - 特許庁

カセットステーションＳ１と、塗布ユニット４２と現像ユニット４１とを備えた処理ステーションＳ３と、膜厚検査装置３１と欠陥検査装置３２とを備えた検査ステーションＳ２とを、カセットステーションＳ１のカセット２２の配列方向にほぼ直交する方向に、前記検査ステーションＳ２が前記カセットステーションＳ１と処理ステーションＳ３との間に設けられるように配置する。例文帳に追加

A cassette station S1, a process station S3 having an applying station 42 and a developing unit 41, and an inspecting station having a film thickness inspector 31 and a defect inspector 32 are arranged approximately right angles to a cassette 22 array in the cassette station S1, with the inspecting station S2 being disposed between the cassette and the process stations S1, S3. - 特許庁

容器の搬送経路上に、待機ステーション１、加圧ステーション２、外洗ステーション３、漏れ検査ステーション４、排斥スーテション５が直列に配置される。例文帳に追加

A waiting station 1, a pressurizing station 2, an external washing station 3, a leak test station 4, and a rejection station 5 are arranged in series on a container carrying passage. - 特許庁

検査ステーション３が空の時に外部からカセットステーション２にウェハＷを搬入し検査を行うことができる。例文帳に追加

A wafer W is carried from the outside into the cassette station 2 for inspection when the inspection station 3 is empty. - 特許庁

検査ステーションを処理ステーションに接続することにより、基板処理から検査に亘る作業の簡便化と、時間の短縮とを図ること。例文帳に追加

To make simple and easy works from the substrate processing to the inspection and shorten the time, by connecting an inspecting station to a processing station. - 特許庁