炉内パージの英語

更にパージ後にウェーハ１０を収容しない状態の反応炉１内に、炉内圧力を前記パージ工程における炉内圧力よりも低くした状態で成膜ガスを供給して熱ＣＶＤ法により反応炉１内に薄膜をコーティングする。例文帳に追加

The thin film is coated on the inside of the reaction furnace 1 accommodating no wafer 10 through the heat CVD method by supplying the film forming gas under a condition that the inside pressure of the furnace is lowered than that in the purge process. - 特許庁

これにより、電力の供給が停止しても精製されたパージ用ガスＧを半導体製造装置に供給することができ、処理炉内を精製された精製済パージ用ガスＧ’によりパージすることができる。例文帳に追加

Thereby even when the power supply is stopped, the refined purge gas G can be supplied to the semiconductor manufacturing device, and the inside of a treatment furnace can be purged by refined purge gas G'. - 特許庁

クリーニング後にウェーハ１０が収容されていない状態の反応炉１内に、炉内圧力を成膜工程における炉内圧力よりも高くした状態でＮＨ_３ガスを供給して反応炉１内のパージを行う。例文帳に追加

The NH_3 gas is supplied to effect purge in the reaction furnace 1 under a state that the wafer 10 is not accommodated after the cleaning under a condition that the pressure in the furnace is higher than that in the film forming process. - 特許庁

不活性ガスを加熱炉１０及び／またはパージ用のパージボックス１３，１８に導入し、その導入流量を制御することにより加熱炉１０の内部圧力をその外部圧力より高く保って加熱炉１０外部のガスが加熱炉１０の内部に流入しないようにする。例文帳に追加

An inert gas is introduced to the heating furnace 10 and/or purge boxes 13, 18, and by controlling the introductory flow amount, the internal pressure of the heating furnace 10 is held higher than the external pressure not to flow the external gas into the heating furnace 10. - 特許庁

回転軸５の少なくとも一部及びヒーターを収容するヒーターユニット４０Ａを反応炉内に設け、ヒーターユニット４０Ａにパージガスを導入してパージガス排気口４６Ａからパージガスを反応炉内に排気する。例文帳に追加

A heater unit 40A for housing at least a part of the rotary shaft 5 and the heater therein is arranged in the reactor, and a purge gas is exhausted into the reactor from a purge gas exhaust port 46A by introducing the purge gas into the heater unit 40A. - 特許庁

キルン炉１の運転開始時又は停止時に、燃焼ガス１２を、燃焼ガス排出ライン１４からパージライン２３を経由させてキルン炉１内に供給し、プレパージさせる。例文帳に追加

During starting or a stop of operation of the kiln furnace 1, the combustion gas 12 is fed in the kiln furnace 1 from the combustion gas discharge line 14 through the purge line 23 to effect prepurge. - 特許庁

火炉６の低負荷時には斜行煙道８内のガス流速が下がり、灰堆積防止のためのパージが必要となるので、パージ用のガスとして火炉６の燃料燃焼用に用いられる一次空気を流用する。例文帳に追加

A gas flow speed in the inclined flue 8 is reduced upon low loading of the furnace 6 and purging for prevention of ash deposition is required, so that primary air used for fuel combustion in the furnace 6 is employed as purging gas. - 特許庁

吹き出し孔からバッフル板の間にパージガスを効率よく均一に供給することができ、よって簡単な構成でパージガスによる外気と炉内との遮断効果を向上することができる加熱炉を提供する。例文帳に追加

To provide a heating furnace to enable high efficient and uniform feed of purge gas through an air outlet to a space between baffle plates and improve a cut-off effect between outside air and the interior of a furnace by purge gas through simple constitution. - 特許庁