軟真空管の英語

リソグラフィ投影装置に使う放射線の短波長化に伴い、投影ビーム経路を高真空に保つ必要が生じたが、真空室内の装置構成要素にユーティリティを供給する導管に真空汚染ガスを放出する難点があるので、この導管の柔軟性を損うことなく、導管を真空から隔離したリソグラフィ装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a lithography apparatus for separating a conduit from vacuum without losing the flexibility of the conduit, since the conduit for supplying a utility to an apparatus component in a vacuum chamber has a problem to discharge vacuum contaminated gas although the need for keeping a projection beam path at high vacuum is generated due to the short wavelength of radiation used for the lithography projection apparatus. - 特許庁

配管の柔軟性を維持しつつ、チャンバ内の真空度を信頼性よく確保することができる配管、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a pipe securing the vacuum within a chamber with high reliability while maintaining flexibility of the pipe, an exposure device, and a method for manufacturing a device. - 特許庁

鋳型の空洞２からの柔軟性のある物質で出来た管８の退出の為の出口９に不完全真空を発生させる為のベンチュリ吸引システム１０を配設する。例文帳に追加

A Venturi type suction system 10 for generating an incomplete vacuum is set at an outlet 9 for withdrawing a tube 8 made of a flexible material from a cavity 2 of a mold. - 特許庁

成形装置１０は、角柱状の芯金１４と、この芯金１４を覆うガラス管１２と、このガラス管１２内を減圧する真空ポンプ１８と、ガラス管１２を加熱軟化させて芯金１４に密着させる加熱炉１６とを備えている。例文帳に追加

The molding apparatus 10 is provided with a rectangular column-like core metal 14, a glass pipe 12 that covers the core metal 14, a vacuum pump 18 for reducing the pressure in the glass pipe 12 and a heating furnace 16 for heating and softening the glass pipe 12 and closely contacting the glass pipe 12 onto the core metal 14. - 特許庁

ビスマス系ガラスと耐火性フィラーを含有するタブレットにおいて、二次焼成工程で排気管を良好に封着可能であるとともに、真空排気工程で再軟化し難いタブレットを創案することにより、ＰＤＰ等の製造効率や輝度特性を高めること。例文帳に追加

To create a tablet containing bismuth-based glass and a refractory filler, which can seal an exhaust pipe well in the secondary firing step, while hardly softens again in the vacuum exhaustion step, thereby can enhance production efficiency and brightness characteristic of PDP or the like. - 特許庁

従来の技術のＥｖｅｒｈａｒｔ−Ｔｈｏｍｌｅｙ検出器とは異なり、光電子倍増管は、真空チャンバ内に配置され、これにより、光学結合を排除することによって検出が向上し、検出器の配置について柔軟性が提供される。例文帳に追加

Unlike an Everhart-Thomley detector of a conventional technology, the photomultiplier tube is arranged inside a vacuum chamber, and as a result, an optical coupling is eliminated for an improved detection and an arrangement of a detecting unit can have a flexibility. - 特許庁

外囲器１０１内を排気管３０３を介して真空排気する排気装置１０９と、排気管３０３内の圧力を検出する圧力検知器１０７と、排気管３０３の一部を軟化させる第１の加熱手段１０３と、圧力検知器１０７からの情報に基づいて排気管３０３を引き伸ばす手段１０５とを備える。例文帳に追加

The manufacturing device is provided with an exhaust device 109 for exhausting the inside of an enclosure to a vacuum through an exhaust pipe 303; a pressure detector 107 for detecting pressure in the exhaust pipe 303; a first heating means 103 for softening a portion of the exhaust pipe 303; and a means 105 for elongating the exhaust pipe 303 based on an information from the pressure detector 107. - 特許庁