Ion Source Magnetとは 意味・読み方・使い方

A w_1 width ribbon form ion beam is pulled out from an ion source 102 and put into a mass spectrometry magnet 110, made divergent in a non-dispersive plane (xz plane), and made convergent in a dispersive plane (xy plane).例文帳に追加

イオン源１０２から幅w_1のリボン形イオンビームを引き出して質量分析磁石１１０に入れ、非分散平面（ｘｚ面）内で発散させ、分散平面（ｘｙ面）内で集束させる。 - 特許庁

Since the mount plates 13, 15 are made of magnetic material as described above, the slits 12a, 14a as passages for the ion beam IB are shielded from the magnetic field of a source magnet 6.例文帳に追加

このように取付プレート１３，１５を磁性体で形成したので、イオンビームＩＢの通り道であるスリット１２ａ，１４ａ内では、ソースマグネット６の磁場が遮蔽される。 - 特許庁

The ion implantation apparatus includes a mass spectrometry magnet 114, a power source 174 applying an electric field to a passage 139, and a magnetic apparatus 170 applying a multi-cusp magnetic field to the passage 139.例文帳に追加

本発明のイオン注入装置は、質量分析磁石114、通路139に電界を与えるパワー源174、及び通路139にマルチ−カスプド磁界を与える磁気装置170を含む。 - 特許庁

The ion implantation device according to the invention comprises a beam guide 200 of mass analysis magnet, a power source for providing electric field, and a magnetic device 170 providing a multicusped magnetic field and having multiple magnets 220.例文帳に追加

本発明のイオン注入装置は、質量分析磁石のビームガイド200、電界を与えるパワー源、及びマルチ−カスプド磁界を与え、複数の磁石220を有する磁気装置170を備える。 - 特許庁

To provide a microwave ion source or a plasma source stabilizing beam current without precise magnetic field adjustment by reducing change of plasma density caused by change of strength of magnet field in axial direction or ion beam current, and to provide an application device utilizing the above devices such as a linear accelerator system, an accelerator system for medical use, or the like.例文帳に追加

軸方向磁場の強度変化によるプラズマ密度或いはイオンビーム電流の変化を低減し、精密な磁場調整なしでビーム電流を安定化するマイクロ波イオン源或いはプラズマ源と、それを利用した線形加速器システム、医療用加速器システム等の機器等の応用装置を提供する。 - 特許庁

The ion source is constituted of an electrode 2 for extracting cations produced at a plasma source 13 and accelerating them, and the electrode 2 is installed with a coolant path 5, in which a magnet 6 for separating electron from the cation flow is embedded.例文帳に追加

プラズマ源１３で生成した負イオンを引き出して加速する電極２を備え、前記電極２は冷却媒体流路５を内設され、この冷却媒体流路５内に前記負イオンの流れ８の中から電子を分離する磁石６が埋設されている構成とする。 - 特許庁

The ion source device has a pair of mirror electromagnets 11, 12 arranged at regular intervals on the outside of a plasma chamber 10, and a multipole permanent magnet device 20 arranged between a pair of mirror electromagnets, on the outside of the plasma chamber 10.例文帳に追加

プラズマチャンバ１０の外側に間隔をおいて配置された一対のミラー電磁石１１、１２と、前記チャンバの外側であって前記一対のミラー電磁石の間に設けられた多極永久磁石装置２０とを備える。 - 特許庁

A structure for insulating a discharging vessel top plate 2 from a discharging vessel 1 which is a discharging cathode by an insulating spacer 12, while removing a plasma closing magnet on a discharging vessel top plate 2 having been mounted as a conventional ion source, is provided.例文帳に追加

従来イオン源で設置していた放電容器天板2上のプラズマ閉じこめ用磁石を取り除くとともに、絶縁スペーサー12によって放電容器天板2を放電の陽極である放電容器1から絶縁する構造にする。 - 特許庁