Penningとは 意味・読み方・使い方

Spattered particles emitted from the target are subjected to thermoionic dissociation in an ionizing space just above the target 2 and ionized by a Penning ionizing method.例文帳に追加

ターゲットから放出されたスパッタ粒子を、ターゲット２の直上のイオン化空間で熱電子解離し、ペニングイオン化法によりイオン化する。 - 特許庁

Nitrogen N2 of the sealed gas shifts energy from argon to a C^3Π_U level of a nitrogen molecule by the Penning effect to emit a near ultraviolet ray (300-400 nm) of a second positive band of the nitrogen molecule.例文帳に追加

封入ガスの窒素Ｎ_２がペニング様効果により、アルゴンから窒素分子のＣ^3Π_uの準位へのエネルギーを移行させ、窒素分子の第２ポジティブバンドの300ｎｍ〜400ｎｍの近紫外線を放射させる。 - 特許庁

To use a compact and inexpensive Penning type inert element ion beam device as one for removing a remnant layer, a crushed layer formed on the surface of a sample by irradiation of focused ion beam device.例文帳に追加

集束イオンビーム照射により試料表面に形成される残存層、破砕層を除去するために用いる不活性元素イオンビーム装置として、小型で安価なペニング型不活性元素イオンビーム装置を用いる。 - 特許庁

Dopant gas and Penning gas are ionized in a space isolated from a discharge part, using metastable helium obtained by direct-current glow discharge, and the ionization efficiency of the measuring components is enhanced using a plasma thereof to obtain an intensified ion current.例文帳に追加

本発明は、直流グロー放電により得た準安定状態のヘリウムを利用して、放電部から離隔した空間にドーパントガス、ペニングガスを電離させ、そのプラズマを利用して、測定成分のイオン化効率を向上させることにより、大きなイオン電流を得る。 - 特許庁

An abnormal value removal processing part 23 acquires three continuous measured values P1, P2, P3, calculates an upper limit value for determining the occurrence of entrance of dust into the Penning vacuum gage 14 based on the measured value P1 and the measured value P3, and removes the measured value P2 not satisfying it.例文帳に追加

異常値除去処理部２３は、連続した３つの測定値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を取得し、測定値Ｐ１と測定値Ｐ３とに基づき、ペニング真空計１４への塵埃の侵入の有無を判定する上限値を算出し、これを満たさない測定値Ｐ２を取り除く。 - 特許庁

A Penning type inert element ion beam device fitted to the focused ion beam device is let to be provided with two motion states of an operation state of coming near a sample and irradiating an inert element beam on it and of a sheltering state of getting away from the sample and not irradiating the inert element ion beam on it.例文帳に追加

集束イオンビーム装置に取り付けられたペニング型不活性元素イオンビーム装置に、試料に近付いて不活性元素ビームを試料表面に照射する操作状態と、試料から離れて不活性元素イオンビームを試料に照射しない待避状態の二つの動作状態を持たせる。 - 特許庁