SPVとは 意味・読み方・使い方

An icon viewpoint ai other than a reference viewpoint ip is set on a SPV map viewed from the reference viewpoint ip, and an icon viewpoint map viewed from the icon viewpoint ai is displayed together with the SVP map.例文帳に追加

基準視点ｉｐから見たＳＰＶ地図上に基準視点ｉｐと異なるアイコン視点ａｉを設定し、このアイコン視点ａｉから見たアイコン視点地図をＳＰＶ地図とともに表示する。 - 特許庁

Here, the SPV method includes activating the silicon wafer surface with irradiation of light or heat treatment, and measuring change in the diffusing length of minority carrier resulting from dissociation and recovery of the Fe-B pair through the activation.例文帳に追加

ここで、ＳＰＶ法とは、シリコンウェーハ表面を光照射又は加熱により活性化させ、この活性化によるＦｅ−Ｂペアの解離及び復帰に伴う少数キャリアの拡散長の変化を測定する方法をいう。 - 特許庁

To provide a measuring method capable of accurately and easily measuring the diffusion length of minority carriers which are few in number in semiconductor by an SPV (surface photovoltage) method even in the case of a P-type epitaxial wafer.例文帳に追加

Ｐ型エピタキシャルウエハにおいても、ＳＰＶ法により、正確かつ容易に少数キャリア拡散長の測定を行うことができる測定方法を提供する。 - 特許庁

Thus, the crystal defect as a factor of disturbance of a measured value, so diffusion length measurement precision by the SPV method is greatly improved to achieve more accurate Fe contamination evaluation.例文帳に追加

このように、測定値の外乱要因となる結晶欠陥を除去するため、ＳＰＶ法による拡散長測定精度が格段に向上して、より正確なＦｅ汚染評価が可能となる。 - 特許庁

To provide a means for determining whether a wafer surface subjected to surface treatment is stabilized when minority carrier diffusion length in a silicon wafer is measured by an SPV method.例文帳に追加

シリコンウェーハ中の少数キャリア拡散長をＳＰＶ法により測定する際に、表面処理を施したウェーハ表面が安定化したか否かを判定する手段を提供する。 - 特許庁

Heat treatment is performed on a silicon wafer 2 arranged in a heat treatment furnace 7 in a hydrogen atmosphere, and a distribution in the plane of a carrier density in the vicinity of a surface of the silicon wafer 2 after heat treatment is measured using an SPV method.例文帳に追加

熱処理炉７内に配置したシリコンウェーハ２に対し、水素雰囲気中で熱処理を施し、この熱処理後のシリコンウェーハ２の表面近傍におけるキャリア濃度の面内分布を、ＳＰＶ法により測定する。 - 特許庁

To provide a silicon wafer for metal contamination evaluation which can improve the reliability of the measured result of the outer peripheral part of a monitor wafer in evaluation of metal impurity contaminants by photo conductivity decay (PCD), surface photo-voltage (SPV) or the like for contamination management in semiconductor processing.例文帳に追加

半導体プロセス中の汚染管理のためのＰＣＤ、ＳＰＶ等による金属不純物汚染の評価における、モニターウエーハ外周部の測定結果の信頼性向上を実現することができる金属汚染評価用シリコンウエーハを提供する。 - 特許庁

The CPU 65 controls an electric motor 14 in accordance with the main phase compensation signal MPV for assisting control of steering operation, and it also detects abnormality of the main or sub phase compensation circuits 61a or 61b by comparing both phase compensation signals MPV and SPV.例文帳に追加

ＣＰＵ６５は、主位相補償信号ＭＰＶに応じて電動モータ１４を制御して操舵操作をアシスト制御するとともに、両位相補償信号ＭＰＶ，ＳＰＶの比較により主又は副位相補償回路６１ａ，６１ｂの異常を検出する。 - 特許庁