Side sputterとは 意味・読み方・使い方

The shoulder of a portion of the silicon oxide film 30 covering a side wall spacer 14 in the silicide region is removed by carrying out sputter etching in the state.例文帳に追加

この状態でスパッタエッチングを行うことにより、シリサイド領域におけるシリコン酸化膜３０のうちサイドウォールスペーサ１４を覆う部分の肩部を除去する。 - 特許庁

Means, such as sticking of metallic foil, coating application of a conductive paste, and formation of a sputter film of conductive metal, can be utilized as the conductive film on the inner side of the molded case.例文帳に追加

モールドケース内側に導電膜としては、金属箔の貼り付け、導電ペーストの塗布、導電性金属のスパッタ膜の形成等の手段が利用できる。 - 特許庁

Thereafter, unwanted deposition film 7 formed to the area other than the side surface of the wiring groove 5 is removed with the sputter etching and a conductor film is formed inside the wiring groove 5.例文帳に追加

その後、スパッタエッチングにより配線溝５の側面以外に形成された不要な堆積膜７を除去し、配線溝５内に導電体膜を形成する。 - 特許庁

To prevent generation of gas molecules and sputter particles generated by impact of other gas ions except sputtered metal ions on the inner wall of a wave guide in an ion accelerator equipped with a sputter type ion source and a mass separation mechanism to reduce the mixing of impurities on the downstream side.例文帳に追加

スパッタ型イオン源と質量分離機構を備えたイオン加速器において、スパッタさせた金属イオン以外のガスイオンがウェーブガイドの内壁に衝突することにより発生するガス分子やスパッタ粒子の発生を抑制して下流側での不純物の混人を低滅できるようにする。 - 特許庁

Since the widths are set as w1>w2 and w1>w3, the influence of the sputter film formed on the side surface 31 caused by the effect that the target substance wraps around is reduced during the sputtering over the mounting surface 22.例文帳に追加

ｗ１＞ｗ２，ｗ１＞ｗ３に設定されているため、実装面２２へのスパッタリングにおいて、ターゲット物質の回り込みにより側面３１に形成されるスパッタ膜の影響が低減される。 - 特許庁

Thus, when opening an electrode, bellows 7 cannot be contaminated with metal sputter diffusing into the periphery from a movable-side electrode 9 and a fixed-side electrode 8 and falling along an arc shield 11, and a durability of the bellows 7 is ensured.例文帳に追加

これにより、電極を開極する時に可動側電極９と固定側電極８から周辺に飛散し、アークシールド１１に沿って降下する金属スパッタによるベローズ７の汚損を防止し、ベローズ７の耐久性を確保する。 - 特許庁

When depositing the thin film by sputtering, sputter gas to which gaseous oxygen is added is used and an oxygen-introducing layer is formed on the adhesion surface side of the thin film by the gaseous oxygen to increase the adhesion force of the thin film.例文帳に追加

薄膜をスパッタ成膜する際に、酸素ガスを添加したスパッタガスを用い、この酸素ガスにより薄膜の付着面側に酸素導入層を形成して薄膜の付着力を強化する。 - 特許庁

With this, a battery lid 9 and the battery container 13 can be jointed together with enough strength, so that mixing-in of foreign matters like sputter in the narrow-width side face 13N can be prevented.例文帳に追加

これによって、電池蓋９を電池容器１３に充分な強度で接合することができるとともに、幅狭側面１３Ｎにおけるスパッタ等の異物の混入を防止することができる。 - 特許庁