Wsiとは 意味・読み方・使い方

A polysilicon film 12 doped with impurities and a WSi film 13 are further grown on the gate oxide film 11.例文帳に追加

ゲート酸化膜１１の上に、ＤＰＳ膜１２、およびＷＳｉ膜１３を成長させる。 - 特許庁

Because the WSiN film 3 suppresses a reaction of the WSi film 4 with the polysilicon film 2 to produce grain growth, a crystal grain of the WSi film 4 gets smaller and the light shielding characteristics are improved.例文帳に追加

ＷＳｉＮ膜３は、ＷＳｉ膜４がポリＳｉ膜２と反応してグレイン成長するのを抑制するため、ＷＳｉ膜４の結晶粒が小さくなり、遮光特性が向上する。 - 特許庁

In a process (d), after forming an oxide film 9 and an interlayer film 10 in this order over the whole surface including the WSi layer 7 and the oxide film 6, the contact hole 11 is opened in the films 9, 10 present on the foregoing pattern of the WSi layer 7.例文帳に追加

工程（ｄ）で、ＷＳｉ層７を含む表面全体に酸化膜９及び層間膜１０をこの順序で形成した後、上記パターニングしたＷＳｉ層７の上部にコンタクトホール１１を開口する。 - 特許庁

After a silicon oxide film 28 and a silicon nitride film 30 are formed on the WSi film 22, a gate electrode is formed by etching (Figure 1 (E)).例文帳に追加

ＷＳｉ膜２２の上にシリコン酸化膜２８およびシリコン窒化膜３０を形成した後、エッチングによってゲート電極を形成する（図１（Ｅ））。 - 特許庁

A first electrode part formed of a WSi/W film is made on a GaAs semiconductor substrate, and a second electrode part including a Pt film is formed.例文帳に追加

ＧａＡｓ半導体基板上にＷＳｉ／Ｗ膜からなる第１の電極部を形成した後、Ｐｔ膜を含む第２の電極部を形成する。 - 特許庁

The vapor-deposited metal film 5 has characteristics for reflecting light in a wavelength band, which is used by optical communication, without transmitting as in Au or WSi.例文帳に追加

蒸着する金属膜５は、例えばＡｕやＷＳｉのように光通信で使用する波長帯の光を透過せずに反射する特性を有する。 - 特許庁

A TFT 5 is formed on the WSi film 4 and further a flattening film 6 and a transparent electrode 7 are formed.例文帳に追加

このＷＳｉ膜４上にＴＦＴ５を形成し、さらに平坦化膜６および透明電極７を形成する。 - 特許庁

A WSi film 71a is deposited on a GaAs substrate 70, and an Si ion is implanted using a mask 72, to form an active layer 74a.例文帳に追加

ＧａＡｓ基板７０の上にＷＳｉ膜７１ａを堆積し、マスク７２を用いて、Ｓｉイオンを注入して活性層７４ａを形成する。 - 特許庁