contamination rateとは 意味・読み方・使い方

Further, a characteristic curve on the contamination degree of the air filter 4 is used as a function of differential pressure calculated at the predetermined air mass flow rate, and a characteristic diagram on the contamination degree of the air filter 4 is used as a function of standardized air mass flow rate and measured differential pressure.例文帳に追加

さらには、この算出時に、既定の空気質量流量において算定した差圧の関数として、エア・フィルタ４の汚染度に関する特性曲線を使用し、さらに標準化空気質量流量と測定した差圧との関数として、エア・フィルタ４の汚染度に関する特性図を使用する。 - 特許庁

To provide an ECR sputtering system capable of improving a deposition rate and of preventing the contamination of a microwave introducing window by sputter particles.例文帳に追加

成膜速度が向上し、かつ、スパッタ粒子によるマイクロ波導入窓の汚染を防止することができるＥＣＲスパッタリング装置の提供。 - 特許庁

To provide a document reader in which shading correction can be performed with high precision without causing deterioration in reading rate by preventing contamination of a shading compensation board.例文帳に追加

シェーディング補正板の汚損を防止し、精度の高いシェーディング補正を読取速度の低下を招くことなく可能とする原稿読取装置を提供すること。 - 特許庁

According to the matching rate of the images compared, detection of camera failure, contamination of a lens or the like, mischief, or device theft is executed, to perform abnormality diagnosis of the device.例文帳に追加

そしてその比較した画像の一致率に応じて、カメラの故障、レンズ等の汚れ、悪戯、装置盗難検知を実施して装置の異常診断を行う。 - 特許庁

In a purge system of the lithographic projection apparatus, a flow rate of the purge gas to the system is reduced substantially once a contamination level has fallen below a threshold level.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置のパージシステムにおいて、汚染レベルがしきい値レベル以下になったときに、システムへのパージガスの流量はかなり減じられる。 - 特許庁

To provide an abrasive tape capable of smoothly polishing an edge of a workpiece at a high polishing rate without contamination of the workpiece due to metals and a method.例文帳に追加

金属類によるワークの汚染がなく、ワークのエッジを高い研磨レートで平滑に研磨できる研磨テープ及び方法を提供することである。 - 特許庁

To suppress metallic contamination in a processing chamber and a breakage of a quartz member, while suppressing decrease in film formation rate in a thin film formation process immediately after dry cleaning of the inside of the processing chamber, and to enhance the operation rate of the apparatus.例文帳に追加

処理室内のドライクリーニング直後の薄膜形成工程における成膜速度の低下を抑制しつつ、処理室内の金属汚染や石英部材の破損を抑制すると共に、装置稼働率を向上させる。 - 特許庁

To efficiently perform membrane separation using even a permeable membrane of low chlorine resistance by preventing the contamination of the permeable membrane due to the growth of microbes without causing the decline of a removal rate and a desalination rate due to the degradation of the permeable membrane.例文帳に追加

耐塩素性の低い透過膜においても、透過膜の劣化による除去率や脱塩率の低下を引き起こすことなく、微生物の増殖による透過膜の汚染を防止し、効率良く膜分離を行う。 - 特許庁