cryo pumpとは 意味・読み方・使い方

CRYO PUMP例文帳に追加

クライオポンプ - 特許庁

To provide a cold storage type freezer suitable to a cryo-pump capable of efficient gas condensation and regenerating treatment.例文帳に追加

効率的なガス凝縮及び再生処理が可能なクライオポンプに適した蓄冷器式冷凍機を提供する。 - 特許庁

To provide a cryo-pump with its gas exhausting capacity increased by absorbing Ar gas to the whole area of a second panel.例文帳に追加

第２パネル全体にＡｒガスを吸着させることにより排気容量を増大させたクライオポンプを提供する。 - 特許庁

To provide a cryo-pump capable of stabilizing the degree of vacuum in a chamber in the initial period of evacuation after regeneration.例文帳に追加

再生後の真空排気初期においてチャンバー内の真空度を安定させることが可能なクライオポンプを提供する。 - 特許庁

A mechanical roughing pump connected to the magnetron chamber pumps the main chamber through the bypass conduit to less than 1 Torr before the bypass valve is closed and the cryo pump is opened and thereafter continues to pump the magnetron chamber to reduce the pressure differential across the target.例文帳に追加

マグネトロンチャンバに連結された機械式粗引ポンプは、バイパスバルブを閉鎖し、クライオポンプを開口するに前に、バイパス導管を介して主チャンバを１Ｔｏｒｒより低く減圧し、続いてマグネトロンチャンバを継続して減圧することでターゲットを介した圧力差を低減する。 - 特許庁

To provide a cryo-pump having a multi-stage type cold storage refrigerating machine not causing the temperature of a high temperature side cooling stage to exert effect on the refrigerating capacity of a low temperature side cooling stage.例文帳に追加

高温側冷却ステージの温度が低温側冷却ステージの冷凍能力に影響を及ぼさないような多段蓄冷器式冷凍機を備えたクライオポンプを提供する。 - 特許庁

A cryo pump array 20 has an outer rim 20a surrounding a center opening 24 and is disposed in the fluid conduit 22 so as to be orthogonal to the flowing direction of the fluid and then is set such that the fluid passage extends through the center opening 24 of the array 20.例文帳に追加

クライオポンプアレイ２０は中央の開口２４を囲む外側リム２０ａを有しており、流体導管２２の内部に流体の流れ方向と直交するように配置されて、流体通路が前記アレイ２０の中央開口２４を通って延びるように設定されている。 - 特許庁